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FUD-1 Model-130 日本富士FUJI超声波高精度单成分浓度计价格
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日本富士FUJI超声波高精度单成分浓度计价格
日本富士FUJI超声波高精度单成分浓度计
FUD-1 Model-130
产品简介:
高精度·高稳定测量等,成为回答顾客的需求的FUD-1 Model-13的上位机种被定位的模型。
单成分浓度计的特点
Model-130是重视测量浓度稳定性的概念模型
半导体制造工序等的高精度·高稳定浓度计方面被认为是必要的景色发挥效果。
优点,优点
高精度连续计测可能
无需定期调整、校对,无需维护
设置时的各种调整等不需要也容易设置
由于实时输出的工程的反馈也容易
日本富士FUJI超声波高精度单成分浓度计价格
用途
在CMP工序中的CMP衬垫或氧化剂浓度管理等
稀释工程的各种药液浓度管理等(H2O2・TMAH・HNO3・H2SO4・HCl等)
在清洗过程中的清洗液浓度管理等(HF・NH4OH・KOH・IPA等)
蚀刻工序中的蚀刻液浓度管理等(HF・H2SO4等)
规格
形式:FUD-1 Model-130
测量参数超声波传播速度・温度
显示:LCD(浓度、温度、音速/各种参数)
输出信号DC4~20mA (浓度值可任意设定)
数字RS232C (浓度、温度、音速、错误代码)
警报上限测量异常.
电源AC100V~240V 50/60Hz两用30VA (DC24V也可使用)
结构:面板挂载型(根据DIN标准)
功能输出范围设定功能、警报输出设定功能、浓度显示移动平均功能、浓度显示偏移及增益设定功能、自我诊断功能、安全功能、异常值取消功能
选项温度输出(DC4~20mA)
频道大10Ch
电缆6m
接液部材PFA涂层
接头称呼直径1/2~1英寸可对应各种
测量环境转换器
10~40℃
RH85%以下
发信器5~45℃
测量液温度0~50℃
耐压0.3MPa
流量5l/min以下
如有需求,请见: 日本富士FUJI超声波高精度单成分浓度计价格