Surface Stylus Profilers 探针式表面轮廓仪 P-7

KLA是半导体在线检测设备市场的供应商，在半导体、数据存储、 MEMS 、太阳能、光电子以及其他领域中有好的市占率。探针式表面轮廓仪 P-7是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统，历经技术积累和不断迭代更新，集合众多技术优势。P-7建立在市场的P-17台式探针轮廓分析系统 的成功基础之上。 它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针 轮廓仪平台提供了性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲 度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

从可靠性表现来看，P-7具有业界的测量重复性。UltraLite®传感器具有动态力控制，良好的线性，和的垂直分辨率等特性。友好的用 户界面和自动化测量可以适配大学、研发、生产等不同应用场景。

主要功能

▪ 台阶高度：几纳米至1000μm

▪ 微力恒力控制：0.03至50mg

▪ 样品全直径扫描，无需图像拼接 ▪ 视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

▪ 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

▪ 生产能力：通过测序，模式识别和SECS / GEM实现全自动化

主要应用

▪ 薄膜/厚膜台阶

▪ 蚀刻深度量测

▪ 光阻/光刻胶台阶

▪ 柔性薄膜

▪ 表面粗糙度/平整度表征 ▪ 表面曲率和轮廓分析

▪ 薄膜的2D stress量测

▪ 表面结构分析

▪ 表面的3D轮廓成像

▪ 缺陷表征和缺陷分析

▪ 其他多种表面分析功能

产品特性及扩展选项

P-7探针式台阶仪凝聚了KLA在量测领域的经验和技术优势，并具有丰富的扩展选项。

探针扫描

扫描载台具有150 mm的扫描范围以及极大1 mm的扫描高度范围，从而高质量的2D和3D扫描数据。

台阶重复性

在1微米阶高的重复性为0.4纳米。这归因于极低噪音电子元件，亚埃分辨率的电容式传感器，以及超高平整度的平晶基座。

Apex软件

Apex分析软件通过提供调平、滤镜、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析 技术的扩展套件，增强了P-7的标准数据分析能力。 Apex支持ISO粗糙度 计算方法以及如ASME之类的本地标准。 Apex还可用作报告编写平台，具有添加文本、注释和是/否合格的准则。 Apex提供八种语言的版本。

自动化测量

自动化测量包括图案识别、1000个量测序列点和序列队列功能，可以极大提高产量。 图案识别与校准相结合，可减少平台定位误差，并实 现系统间配方的无缝传输。自动化测量与特征检测、特征发现、Apex软件充分集成后可以实现自动化收集和报告数据的功能。

3D 成像

通过3D扫描可以得到表面的三维成像，呈现出彩色三维图像或自上而下 的等高线图像。可以从中提取截面/线中的三维或二维数据。

应力分析

能够测量在生产包含多个工艺层的半导体器件期间所产生的应力。 使用 应力卡盘将样品支撑在中性位置并测量样品翘曲， 然后通过应用 Stoney方程来计算应力。2D应力通过在直径达150mm的样品上通过单次 扫描测量，无需图像拼接。3D应力的测量采用多个2D扫描，并结合θ平台在扫描之间的旋转对整个样品表面进行测量。

离线分析软件

离线软件可以创建扫描和序列配方，以及分析Profiler或Apex数据