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日立新型双束系统NX2000扫描电镜
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生产厂家上海天美是由创建于1994年的上海天美科学仪器有限公司和2006年成立的上海天美生化仪器设备工程有限公司组成,它们都是天美(控股)有限公司的独资子公司。天美(控股)有限公司是一家在新加坡上市的从事分析仪器和生化仪器的研发、生产、销售、服务的专业公司,总部设于香港。
日立新型双束系统NX2000扫描电镜(超高精密聚焦离子束FIB和高分辨场发射电镜FE-SEM),具有高效率的样品制备能力、高精度纳米微加工能力和高分辨图像观察能力。新的低损伤加工技术可以很好的满足感光材料和电子束曝光应用的需求;而新开发的微样品取样、样品装载和样品导航功能则进一步提高了分析效果。
日立新型双束系统NX2000扫描电镜主要特点:
1. 高分辨成像,高衬度成像分辨率:二次电子(3.5nm@1kV),二次离子(4nm@30kV),
2. 可实时观察加工过程
3. 全自动TEM样品制备
4. 高精度加工
5. 大样品仓
6. 可选多种气体注入
7. 可选Ar和Xe离子源
应用领域:
1. 纳米材料微加工
2. 半导体及电子元器件材料
3. 生命科学