德国宝德BURKERT气体质量流量测量仪

质量流量测量仪用于在工艺技术领域直接测量气体通过量。在体积流量测量仪中，还需要测量温度和压力或密度，因为气体的密度或体积会因压力的不同而发生变化。与之相反，质量流量的测量并不取决于压力和温度。8703 型数字式质量流量测量仪具有一个以硅芯片为基础的传感器（参见第 2 页的描述），该传感器直接在气体流中进行测量。通过这种方式可以达到非常短的设备反应时间。当前流量将通过 RS 通讯输出。可针对两种不同的气体对型号 8703 进行校准，用户可在两者之间进行转换。根据用户要求的不同，与介质相接触接头的材料可确保装置能配合所有常见工艺气体运行。

• 采用半导体传感器技术的直接流量测量装置，适合额定流量范围 20 mlN/min 至 80 lN/min (N2)
• 高精度
• 反应快速
• 紧凑型结构和数字通讯

德国宝德BURKERT气体质量流量测量仪

• MEMS直接流量测量.额定流量技术
  速率从1000万牛顿/分钟到80牛顿/分钟（n2）
  •高精度
  •响应时间短
  •紧凑的设计和数字通信
  8703型可与…
  8619型0330型6013型
  多通道3/2或2/2路2/2路
  程控器电磁阀电磁阀
  质量流量计用于直接测量的工艺技术中-由于传感器直接位于旁路通道A中
  测量气体的质量流量。在体积流量情况下，达到了MFM的快速响应时间。实际流量为
  测量温度和压力或通过RS485通讯给出。
  密度，因为气体改变了它们的密度，或者更确切地说，它们的vol-8703型可以选择性地针对两种不同的气体进行校准，即
  取决于压力。测量质量流量时，用户可以在这两种气体之间切换。这个仪器
  另一方面，与压力和温度无关。与主设备进行数字通信，无需进一步的A/D转换。8703型数字质量流量计使用硅芯片上所需的传感器。可以使用MassFlowCommunicator软件
  与气体直接接触的基础。用于参数化和诊断。
  技术数据
  额定流量范围1）10 mln/min2）至80 ln/min（n2
  ）电子。连接插头D-SUB 9针
  （Qnominal）见P.2电源24 V dc上的表
  关断比1:50，要求电压公差±10%时关断比更高
  工作气体中性，无污染气体，残余波纹<2%
  按要求功耗5 W
  通过RS485（半双工或全双工），RS422，使用转换通信数字的校准气体操作气体或空气。
  大工作压力
  气体温度
  （进口压力）
  10巴（145磅/平方英寸）
  取决于阀门的节流孔
  -10至+70°C（-10至+60°C
  防护等级
  尺寸[mm]
  IP40
  见图纸P.5-6氧气）总重量约500 g（铝体）
  环境温度-10至+50°C水平或垂直安装
  准确度±0.8%O.R.±0.3%F.S.发光二极管功率指示（预热1分钟后）（默认功能、限值和误差
  重复性？.1%F.S.其他功能可编程）
  响应时间（T95%）<300 ms二进制输入未分配
  材料（默认，其他功能程序外壳
  海豹
  车身铝或不锈钢
  金属
  FKM、EPDM二进制输出
  梅布尔
  一个限位继电器输出（过程
  端口连接NPT¼，G¼，旋入式接头或（默认，其他功能程序-接近满刻度值的值）
  底基，其他可根据要求提供）大负载：25 V，1 A，25 VA
  1）额定流量值为可控制的标定大流量值。这个
  额定流量范围定义了可能的额定流量（满标度值）范围。
  2）指数n：参考1.013 bar和0°C的流速。
  或者，参考1.013 bar和20°C的索引S。
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