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FR-portable 便携式光学膜厚仪
- 型号
- FR-portable
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工业和实验室设备供应集团：
迈可诺公司全称“迈可诺技术有限公司”，英文简称“MYCRO”。这是一家富有创新精神的化高科技公司，专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商，公司网址为http://www.mycro.com.cn 。
作为工业实验室市场领域的，迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务，帮助客户和合作伙伴取得成功。
迈可诺成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定，尊重他们的决定，并协助他们实现高效率的科研成果，追求丰富有意义的生活。
详细信息
FR-portable 便携式膜厚仪主要由以下系统组成：
Α白炽-LED混合集成式光源系统，通过内嵌式微处理器控制，使用寿命超过20000小时。
小型光谱仪，光谱范围370nm –1050nm,分辨精度可达3648像素， 16位级 A/D 分辨精度；配有USB通讯接口；
Β) FR-Monitor膜厚测试软件系统，
可精确计算如下参数：
1）单一或堆积膜层的厚度；
2）静态或动态模式下，单一膜层的折射率；本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库，可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率，透射率和反射率的测量，还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱，一次使用*，即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。
C) 参考样片：
a) 经校准过的反射标准硅片；
b) 经校准过的带有SiO2/Si 特征区域的样片；
c) 经校准过的带有Si3N4/SiO2/Si特征区域的样片；
D) 反射探针台和样片夹具
可处理的样品尺寸达200mm, 包含不规则的尺寸等；
手动调节可测量高度可达50mm；
可针对更大尺寸订制样片夹具；
Ε) 反射率测量的光学探针
内嵌系统6组透射光探针200μm, 1组反射光探针200μm；
