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Desktop Pro 镀膜设备:桌面型磁控溅射台-Desktop Pro

型号
Desktop Pro
参数
产地类别:进口 价格区间:30万-50万 应用领域:环保,化工,生物产业,电子
北京亚科晨旭科技有限公司

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公司自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务;目前公司拥有一支在半导体制造、微组装及电子装配等领域经验丰富的专业技术团队,专业服务于混合电路、光电模块、MEMS、先进封装(TSV、Fan-out等)、化合物半导体、微波器件、功率器件、红外探测、声波器件、集成电路、分立器件、微纳等领域。我们不仅能为客户提供整套性能可靠的设备,还能根据客户的实际生产需求制订可行的工艺技术方案。
目前亚科电子已与众多微电子封装和半导体制造设备企业建立了良好的合作关系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),为向客户提供先进的设备和专业的技术服务打下了坚实基础。

 

详细信息

DENTON桌面型磁控溅射台-Desktop Pro

美国丹顿真空设备有限公司是世界真空镀膜设备制造商,成立于1964年。丹顿是美国签约的设备供应商,为美国jun品研发和制造提供真空镀膜设备。作为美国老牌“军工”企业,丹顿真空以设备的实用性和可靠性见长。目前,丹顿真空已为客户设计制造了总数超过5千台的各种规格的电阻/电子束蒸发、磁控溅射、离子束溅射/刻蚀和等离子体化学气相沉积镀膜系统,产品广泛应用于科研开发、小规模制造和工业生产等领域。

Desktop Pro提供了一种高性能,小巧,实惠的磁控溅射系统。

 

设备优点:

  • 节省空间:Desktop Pro只需要不到36英寸的空间(0.9m)
  • 节省费用:一个电源可以驱动两个靶枪
  • 均匀性好:倾斜的靶枪和旋转工件盘使得在整个工件盘上达到5%的镀膜均匀性
  • 抽真空速度快:抽速65lps的涡轮分子泵,保证系统优秀的抽真空性能和对反应气体的负载能力
  • 可操作性:强大的控制系统基于PLC的触摸屏控制系统提供下列操作模式:维修模式,手动操作模式和半自动操作模式
  • 安全设计:互锁保护避免不适当操作对人员和设备的损害

 

技术特点:

  • 标准配置两个直径2英寸的溅射靶材
  • 可以处理大直径为4英寸的工件
  • 直流溅射,射频溅射
  • 共溅射
  • 工艺气体
  • 触摸屏控制

 

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产品参数

产地类别 进口
价格区间 30万-50万
应用领域 环保,化工,生物产业,电子
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详询客服 : 0571-87858618
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