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双温区PECVD系统 双温区PECVD系统电阻炉
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生产厂家天津天有利科技有限公司(天津玛福尔科技有限公司)是集研制、开发、生产制造、为一体的*,致力于电加热技术、温度自动控制和净化技术的研究与开发。本公司专业生产各种实验电炉、高低温实验箱、电热恒温实验箱、恒温水浴锅、恒温水箱、净化工作台。公司坚持质量*,诚信为本的经营理念。各系列产品全国各地的大专院校、科研院所、医疗、医药、农业、化工、食品工业、环境保护、工矿企业的实验室、化验室及检测中心。公司产品规格齐全、质量稳定可靠、外型美观、价格合理、交货及时、服务周到。对产品实行三包并提供可靠的售后服务。公司承接大型的高低温烘箱及非标准产品的加工制作,并为客户提供技术咨询。
为了更好的为广大客户服务,本公司还专门设立了仪器事业部,专业销售各种实验仪器设备.真诚欢迎各界朋友光临,真诚期待与您的合作。如果您想选择一家实力非凡的公司,那么我们真诚期待与您的合作!
双温区PECVD系统电阻炉由TL1200真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。双温区的管式炉每个温区可以独立控制、设置不同的温度。采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,抽真空时真空度能够达到10-3Pa。该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源。该炉通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、*性和稳定性高所需的温度更低。
双温区PECVD系统电阻炉
主要特点:
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、*性和稳定性高。
5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
这款TL1200-PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、*等优点。
组件配置:
一、 采用宇电程序控温仪表。(可选配日本岛电,英国欧陆等进口品牌)
1、30段程序控温智能PID调节。(可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表)
2、具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。
3、带有485通讯接口(选购软件时标配)
4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
5、仪表具有温度自整定的功能。
二、开门保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者。
三、炉膛材料: 采用氧化铝多晶纤维材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。
四、加热元件: 采用瑞典康奈尔A1电阻丝加热元件, 温场均衡、使用寿命长。
五、漏电保护功能: 该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。
六、软件控制系统(选购):该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。