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HRP®-260 探针式轮廓仪

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参数
应用领域:环保,化工,石油,电子
北京亿诚恒达科技有限公司

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亿诚恒达科技有限公司,在北京和香港两地注册。北京公司位于北京海淀中关村核心区域,是一家专门代理营销进口科学仪器、测试测量设备的高科技企业,所经营的产品涵盖材料科学、化学分析、绿色能源、半导体及微电子科学等领域。公司本着“诚信、务实、品质、服务”的经营理念,已经为国内许多用户提供了*的仪器设备,专业的技术咨询和完善的售后服务。

公司主要代理产品有:*材料试验机,疲劳试验机,冲击试验机,电化学工作站,恒电位/恒电流仪,石英晶体微天平,三维形貌仪,轮廓仪,原子力显微镜(AFM),扫描探针显微镜(SPM),摩擦磨损试验机,瓶盖扭矩测量仪,轴承扭矩测量仪,高频疲劳试验机。

亿诚恒达科技有限公司愿与客户携手,共创美好未来!

详细信息

HRP®-260 探针式轮廓仪

 

HRP®-260的双平台功能可以进行纳米和微米表面形貌的测量。 P-260配置提供长扫描(长200mm)的功能,无需图像拼接,HRP®-260提供高分辨率扫描平台,扫描长度可达90μm。 P-260结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描的功能,实现了出色的测量稳定性。 HRP®-260采用高分辨率压电扫描平台提高性能。 通过采用点击式平台控制、低倍和高倍率光学系统以及高分辨率数码相机,其程序设置快速简便。 HRP®-260支持二维和三维测量,具有各种滤镜、调平和数据分析算法,以量化表面形貌。 并且通过自动晶圆装卸、图案识别、排序和特征检测以实现全自动测量。

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HRP®-260 探针式轮廓仪

 

主要功能

·        台阶高:纳米至327μm

·        恒力控制的低触力:0.0350mg

·        样品全直径扫描,无需图像拼接

·        视频:在线低倍和高倍放大光学系统

·        圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

·        软件:简单易用的软件界面

·        生产能力:通过测序、图案识别和SECS / GEM实现全自动化

·        晶圆机械传送臂:自动加载75mm200mm不透明(例如硅)和透明(例如蓝宝石)样品

·        HRP:高分辨率扫描平台,分辨率类似于AFM

 

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主要应用

·        台阶高度:2D3D台阶高度

·        纹理:2D3D粗糙度和波纹度

·        外形:2D3D翘曲和形状

·        应力:2D3D薄膜应力

·        缺陷复检:2D3D缺陷表面形貌

 

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工业应用

·        半导体

·        复合半导体

·        LED发光二极管

·        MEMS微机电系统

·        数据存储

·        汽车

·        还有更多:请与我们联系以满足您的要求

 

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产品参数

应用领域 环保,化工,石油,电子
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