WH-XY-01 时间可控显影机
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生产厂家苏州汶颢微流控技术股份有限公司(www.whchip.com)是一家留学人员回国创业的*企业,集研发、生产、销售为一体,技术力量雄厚,生产设备*,检测手段齐全,产品质量过硬。公司建立了完备的微流控芯片研发与生产中心,配置了三条微流控芯片生产线,包括数控CNC微加工仪器,软刻蚀有机芯片加工系统,光刻-掩模无机芯片加工系统,可以加工生产所有材质的芯片,如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。产品涵盖集成式通用医疗诊断芯片、集成式通用环境保护分析监测芯片、集成式通用食品安全分析检测芯片和基于微流控芯片的新能源体系四大系列数十个品种,以及各类科研类芯片,并在生物芯片和化学芯片领域一直保持技术和研发的主要地位,拥有81项知识产权,其中:已申请发明65件、实用新型7件,注册商标2件,登记软件著作权7件。
主营:
微流控芯片:微流控芯片设计、加工、封合、标准微流控芯片、客户定制微流控芯片。
组件/配件:微流控芯片夹具、导管、接头、基材系列。
耗材:微流控芯片光刻胶、PDMS、封合胶、其他*耗材。
仪器:封合*仪器、流体控制仪器、表面处理仪器、芯片加工仪器、其他仪器。
实验室组建:根据客户要求整体组建微流控芯片实验室,提供相关技术输出。
项目研发:接受客户委托开发功能性微流控芯片,分析检测仪器及研究平台。
芯片量产服务:提供微流控芯片的小批量原理验证合大批量生产业务,能够针对PDMS、PDMA、PC等工程塑料进行批量生产。
1. 产品简介
显影机(WH-XY-01)是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品, 针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的,可以对 7 英寸以下规格的硅片进行程控式自动化显影。该设备可*替代微流控芯片制作过程中的手动显影环节,克服了手动显影过程中的显影液加入量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片间隔显影效果不可控,很大程度上减少操作人员人为因素导致的显影质量问题以及硅片的损坏。
显影机(WH-XY-01)详细说明书下载
显影机主要特点如下:
1)显影池摇晃震荡频率可设定,保证显影液与硅片等接触充分,提高显影效果与质量;
2)可根据显影的载体进行精确设定显影托盘升降位置,从而确定显影液的进入添加量,避免显影液的浪费;
3)显影液可以自动添加与排放,灵活更换;
4)友好的人机界面设计,保证操作人员的使用体验与安全;
5)便携性好,方便在实验室移动。
6)腔体为SUS304材料的耐腐蚀腔体
2. 技术参数
震荡方向:顺时针/逆时针
转速:10~300RPM
液量控制:50~500mL
适配硅片/芯片:≤7 寸
显影时间:0~999s
进液速度:0~*
电源输入:AC220V±10V/50HZ
功率:150W
重量:14 kg
外形尺寸:375(W)* 380(D)* 300(H)mm
工作环境:温度 0℃-40 ℃,相对湿度<80 %
3. 特征图解
4.如需了解产品价格及其他技术内容可咨询我司客服。