型号
技术参数

MPS-4

MPS-6

台

体

尺寸

4英寸

6英寸

水平旋转

可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

X-Y移动行程

2英寸*3英寸

X-Y移动精度

10微米

样品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台

左右各一个针座平台，多可放置6个探针座

背电极测试

样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

显

微

镜

显微镜类型

单筒显微镜/体视显微镜

放大倍率

16X-200X

移动行程

水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm

光源

外置LED无极调节亮度环形光源

CCD

200万像素/500万像素/1200万像素

探

针

座

X-Y-Z移动行程

12mm*12mm*12mm

移动精度

10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

探

针

夹

具

线缆

同轴线/三轴线

漏电精度

10pA/100fA/10fA

固定探针

弹簧固定/管状固定

接头类型

BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

探

针

针尖直径

0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

材质

钨钢/铍铜

外形

400mm长*380mm宽*500mm高

重量

约20千克

可选附件

加热台

屏蔽箱

显示器

光学平台

转接头

镀金卡盘

射频测试配件

光电测试配件

根据客户要求定制