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UCUF-02M/SFC-010L 东京计装超声波流量计UCUF-02M/SFC-010L
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- UCUF-02M/SFC-010L
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详细信息
东京计装超声波流量计UCUF-02M/SFC-010L
UCUF-02M/SFC-010L是液体用超声波流量计。 可高精度量测纯水、超纯水及各种药液等的微小流量。 测量管路的口径为2.5 mm，可广泛复盖以往UCUF型超声波流量计难以测量的微小流量区域。
特长
小口径化
该超声波流量计在超声波传播测量困难的内径φ2.5 mm的管路中成功测量了超声波的传播。
微小流量
小满量程设定范围:0 ~ 10 mL/min
EMC标准: EN61326-1
支持RoHS
可测量运动粘度达到40 mm2/s的高粘度流体
理想洁净结构的检测器
耐腐蚀，安装方便
精度:指示值的±1%以内(流量25 mL/min以上时)
主要用途
半导体制造工艺纯水超纯水的流量测定
各种药液注入工艺的流量测定
高腐蚀性液体的流量测量
CMP浆料流量测量
其他小~中口径工艺液体流量测量
清洗装置、CMP装置的流量测量控制
东京计装超声波流量计UCUF-02M/SFC-010L
主要规格
| 测量对象 | 水 |
|---|---|
| 流量范围 | 0 ~ 8000 mL/min |
| 流体温度 | 10 ~ 80℃(环境温度0 ~ 50℃) |
| 流体压力 | 0 ~ 0.5 MPa |
| 进程连接 | 3/8"PFA气管端子(外形尺寸…φ9.53、内径尺寸…φ6.35 ) |
| 测量精度 | ±2%R.D.(1700mL/min以上)±34 ml/min (小于1700 ml/min ) 但是，在流过20℃的水的情况下 |
| 电缆 | 多芯电缆5m (标准) |
| 结构 | IP65 (室内规格) |
如有需求请点击详询联系：东京计装超声波流量计液体微小流量
