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930 系列 PARKER派克隔膜阀
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经销商PARKER派克隔膜阀描述:
930 系列隔膜阀(1-1 / 8英寸的阀体尺寸)可用于各种手动操作和气动执行器操作。它拥有优异的可靠性,泄漏完整性和清洁度,使其在UHP半导体行业中成为理想的应用。
派克930系列1-1 / 8英寸不锈钢阀体隔膜阀提供优异的泄漏完整性,高循环使用寿命和低颗粒发生,非常适用于UHP半导体应用。
930系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计,可大限度地减少颗粒产生和截留,减少半导体应用中*的工艺污染。该系列阀门的严格设计,控制阀座和隔膜应力,以提供可靠和免维护的使用寿命。930系列阀门润湿部件由特种金属制成,提供的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的Vericlean™ 316L不锈钢材质。 Vericlean™ 是派克专有的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。 930系列还提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮树脂(PEEK®)和聚酰亚胺(Vespel®)材质的阀座,可使930阀门与各种工艺流体相兼容。这些材料结合930系列严格的设计特点,给予了930系列产品在入口压力高达300 psig时极度的耐腐蚀性和大循环使用寿命。
930系列气动阀可以配置限位开关或接近开关,用以提供开 - 关位置指示。还有多种阀体构造可选,包括930Y系列(Y型阀)和SM930系列(面板安装)。
930系列阀门上内部(阀座)密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试,以确保在苛刻的UHP应用中,保有其性能和可靠性。
市场:
• 半导体
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业
美国PARKER派克隔膜阀特点与优势:
• 电抛光表面光洁度:5微英寸(Ra)
• 高循环使用寿命(包括耐腐蚀务)
• 内部无弹簧和无螺纹设计可大限度地减少颗粒产生和气体截留
• 全压力范围使用:从真空到300 psig
• 内部泄漏率:≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率:≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驱动,额定压力为75 psig
美国PARKER派克隔膜阀应用:
• 腐蚀性气体和特种气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 燃气柜
• 阀组箱(VMB)
更多派克产品咨询,请见:美国PARKER派克隔膜阀