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ESA500 仍愿ESA500真空泵维修
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生产厂家
~东莞市精捷真空设备有限公司位于东莞市茶山镇卢边管理区,是一家集德国,韩国技术的中国台湾合资企业,具备雄厚的综合实力!主要经营进口莱宝真空泵油,LVO100真空泵油,LVO130真空泵油,爱德华真空泵油,爱德华70#真空泵油,爱德华20#真空泵油等德国贝克、莱宝、里其乐、普旭以及韩国斗一等品牌的真空泵。本公司以“*的技术,快捷的服务”为经营理念,为客户提供系统全面的真空泵技术指导和服务!精捷本着“诚信、互利、创新”的企业精神,坚持“以技术追求发展、以质量求信誉、以服务求生存”的指导原则,务求以*良的品质,Z真诚的服务回报客户。我们愿与海内外同仁广交朋友,携手并进,为发展我国真空设备事业作出贡献,公司主要经营:真空泵,真空泵维修,真空泵配件,真空系统;提供贝克、莱宝、里其乐、普旭、爱德华、斗一、爱发科真空泵配件耗材和维修服务;为分子泵、冷凝泵、爪式泵、螺杆泵提供维修保养;专业设计真空系统、真空节能方案改造,为企业节约能源。
ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、負荷に応じた回転数自動制御機能・通信機能等の付加価値を搭載した独立設置型ドライ真空ポンプです。
特長
型式:ESA15-D/ESA25-D/ESA70W(-D)/ESA70WN(-D)/
ESA80W-HDF/ESA80WN-HDF/ESA100W/ESA100WN
(1)泵总体结构型式
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。
立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的重芯较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。
卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重芯低,高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。
泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵重芯较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。