美国派克PARKER膜片减压阀产品概览：

派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上的微型超高纯减压阀。产品提供极精确可可靠的压力控制，提高了MFC（质量流量控制器）的性能，对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出更好的泄露完整性和底粒子生成，减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.

减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体，提供阶跃函数流量需求变化的异常响应。产品采用*的自动定心束缚膜片设计，提供可靠阀座密封和压力调节。通过消除阀芯弹簧和阀座滞留螺纹，zui大限度减少粒子生成和截留，进一步提高工艺清洁度和吹扫性能.

SMSQ2Micro接液部件有特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean™ 316L不锈钢。Vericlean™ 是派克zhuan利UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22®。这些材料由SMSQ2Micro系列*设计组成，使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和zui高循环寿命，入口压力高达250.

SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口，符合SEMI模块化接口规范.

所有SMSQ2Micro系列减压阀的内部（阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪确保在苛刻超高纯应用中的性能和可靠性.
市场:
• 半导体
• 分析试验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业
特点和优势:
• 有C 和 W密封贴面安装1-1/8"和1-1/2"阀体尺寸
• 极低粒子数
• 束缚膜片消除接液部件的弹簧，增加安全性
• SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv
• 出口压力范围： -10 psig 到 60 psig
• 内漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He
• 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
• 5微英寸(Ra粗糙度)电解抛光表面处理
• 工作压力范围：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)
应用:
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具挂钩
• 气体柜
• 阀组箱 (VMB)

美国派克PARKER膜片减压阀技术规格：

性能特点
阀体材料 洁净316L不锈钢
压缩构件材料 洁净316L不锈钢
隔膜材料 哈氏合金 C-22
阀芯材料 哈氏合金 C-22
阀座材料 PCTFE
帽材料 铜镀镍
螺母材料 不锈钢
旋钮材料 ABS (蓝) (SMSQ2Micro)
ABS (黑) (SMSQ2Micro130E)
爆破压力 750 psig (52 barg)
可承受压力 375 psig (26 barg)
流速 Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)
内部泄漏率 < 5 x 10-8 cc/sec He
外部泄漏率 < 2 x 10-10 cc/sec He
体积 0.08 cm3

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