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EBE35A1-H1M210-K 电子束蒸发源
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生产厂家中科艾科米(北京)科技有限公司坐落于北京怀柔科学城,是一家专注于超高真空扫描探针显微镜(SPM)系统及相关部件的研发、设计及生产的公司。我们的核心团队来自于*物理研究所,团队在相关领域的科学研究及科研仪器设备的研制方面具有十多年的技术积累和扎实的基础,掌握目标仪器装备的多项核心技术,具有*自主的知识产权。
公司以科研客户需求为导向,结合国内外前沿的科研技术及成果,致力于打造国内*科研仪器的技术创新平台,为国内外相关科研人员提供完整、可靠的解决方案。目前已在SPM及相关领域研发出多种性能稳定、性价比高的产品,并获得了20余项实用技术证书。
主要产品包括:超高真空变温扫描隧道显微镜系统(UHV-VT STM SYSTEM)、原子层沉积系统(ALD)、光学兼容超高真空低温扫描探针显微镜-分子束外延联合系统(UHV-LT-SPM-MBE SYSTEM)、高通量连续组分外延薄膜制备及原位局域电子态表征系统(Combi-LMBE-STM)等成套系统以及电阻式加热蒸发源(K-cell)及控制器、电子束加热蒸发源(E-beam)及控制器、碱金属蒸发源、温度控制器(TC)、针尖腐蚀仪、SPM扫描探头等部件及电控单元。
客户可以依照本身应用产品的需求,在中科艾科米选择订制适宜的产品,可以达到应用产品较高的效率与品质表现。中科艾科米将继续开发更多元应用的科学仪器产品,给客户提供各种合理的产品方案,共创双赢的未来!
产品特点:
精确的线性推进:0.01mm精度,25mm行程,专有设计
内置挡板,不受空间限制*打开
可靠的束流监控,有效避免外界电磁场影响
填料方便快速
技术参数:
安装法兰 | DN40CF (O.D. 2.75” ) |
烘烤温度 | 200℃ |
腔内直径 | 34mm |
腔内长度 | 210 mm标准长度, 170mm~400mm 可选长度 |
源数量 | 1 |
样品类型 | 棒材,颗粒,粉末(可供坩埚) |
冷却方式 | 内部水冷, 1L/min |
束流监控范围 | 0.1nA~1mA |
灯丝电流 | 0~7A (10mA step) |
加速电压 | 0~2000V |
大功率 | 250W |
束流发散度 | ±6° |
蒸发温度 | ≥3000℃ |
坩埚尺寸 | 0.1cc, 0.15cc |
坩埚材料 | 钨,钼,钽,石墨,可定制其他材料 |
棒材尺寸 | 直径1~4 mm,长度20~100mm |