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扫描电镜
特点
◆ 扫描电镜台式设计,结构紧凑。采用防振底盘,有效防止振动引起的画质问题
◆ 操作方便,简单易学,具有任何人都可以简便使用的自动调节功能
◆ 性能价格比高
◆ 对环境、电源要求低
◆ 景深大,立体结构观察。图象质量高,能获得高分辨率和高衬度的图像
◆ 抽真空速度快,开机及换样抽真空都可在三分钟完成。
◆ 可整体移动仪器,方便使用
◆ 应用领域范围宽
技术指标
1.扫描电镜放大倍数范围大(10X~ 15000X Digital Zoom:2x,4x,数字变焦120,000X)
2.分辩率:15nm
3.加速电压: 1kv – 15kv
4.探测器: SEI(二次电子探测器),BEI(背散射电子探测器)/EDS(能谱仪)
5.图像大小: 4096×4096
6.图像格式: JPG,TIFF,BMP,PNG
7.数据显示: Micron Bar, Magnificaiton, Date, Kv
8.电压: 110v或220v
9.自动操作,自动加高压、调灯丝电流等
10.具有自动图像调整功能(自动亮度/对比度,自动聚焦,自动消像散等)
11.移动范围宽(X:20mm, Y:20mm, R:360, 高度可调)
12.腔室尽寸大(zei大样品直径为75 mm,样品高度为15 mm,但通过定制样品座可观察更大样品高度)
13.图像储存像素大(640×480, 1280×960, 2560×1920)
14.全自动抽真空(涡轮分子泵+机械泵),无需冷却循环水
15.预对中灯丝
16.可选性强,可选配能谱仪EDS/波谱仪WDS
17.具有二次电子探测器(与通常大电镜使用的探测器同,图像质量好),背散射电子探测器可选
18.NanoAnalysis软件可选模块,功能强大:
u 图像获取模块
图像处理
图像分析
图像操作
图像过滤
粒子计数&筛分
热成像
图像测量/标注
易于生成报告
自动保存
u 元素分布图
标准元素分布图
超快绘图
线扫描
点模式&多点
自动分析(每个像素的图谱)
ColorSEM-快速成像
重点成像
热成像
容易生成报告
自动保存
u 高级特征
化学鉴定
痕量灵敏度分析
关键测量
3D成像
3D测量
自动分析(每个像素的谱图)
远程会议
立体成像
同步分析