HIDEN HMT 100-RC高压残余气体分析仪
针对真空诊断以及过程监测的双重模式RGA 系统
· 残余气体或泄漏检测
· 实际泄漏分析或脱附
· 除气研究
· 退火周期
· 泵操作
· 腔室/过程气体污染物
HIDEN HMT RGA四级质谱仪,*的双重模式RGA系统,检测已存在的、或生产过程中形成的气体。
HIDEN HMT 100-RC高压残余气体分析仪
特点: |
· HMT型适用于高压4x10-3 Torr操作(小压力4x10-8 Torr) · 在P < 10-4 Torr时具有高灵敏度的RGA操作模式,小压力1x10-11 Torr · 大质量数100amu,软件操作。 · 稳定性好(24h之上,小于高度变化的±1% ) · MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制 · 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰 · 混合模式扫描-多个windows窗口显示信息,例如趋势、柱状图和信号峰 · 同步显示数据图,列表 · 同步背景扣除,自动质量数列表 · 数据输出为ASCII格式,至windows设备 · 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件,例如Excel、SPC-IV统计过程控制软件 简洁的桌上型,移动推车或控制台架结构 · Direct re-entrant流孔板,差式泵,以达到适宜的灵敏度 · 连续取样从1mbar至 10-4mbar. · 高灵敏度(至5ppb),质量数至1000amu · 软离子化技术,分析复杂有机物,或表观MS研究 · 稳定性好(24h之上,小于峰高的±0.5%) · MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制 · 气动阀自动控制;出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置 · 自动、同时数据取得、分析,实时显示、报警 |