产品美国Brooks热质量流量控制器GF135的流量范围为3 sccm至5 slm，精度为±1％SP。耐腐蚀的哈氏合金传感器具有的长期传感器稳定性，可确保大的产量。与其他质量流量控制器相比，GF135的响应和建立时间快3倍。专为半导体蚀刻，薄膜和其他高级工艺的下一步而设计气体控制应用中，GF135结合了大多数先进的压力瞬变不敏感质量流量控制器（MFC）并增加了实时性具有高级诊断功能的流量错误检测。器件制造商正在推动提高晶圆级成品率的计划。目前下游质量控制方法可以处理数百个晶圆在检测到问题之前。工艺气体的稳定性和可重复性已确定为对于提高产量目标和MFC精度至关重要。对于维持过程控制至关重要。GF135提供第三代压力瞬变不敏感，市场工艺气体的准确性和超快速的流沉降时间，从而缩短了工艺周期和满足高级3D设备处理要求。该平台还提供使用腐烂率（ROD）技术的未决实时流量误差趋势不受典型MFC故障/降级模式的影响，确保准确可靠诊断功能。在工具启动时建立基线后，GF135可以检测流量变化在设定点的2％以内。这些高级诊断功能提供了从下游质量控制到实时质量的转变确保和预测性维护，从而提高产量并延长正常运行时间。

产品描述
带有集成的实时ROD流量错误检测功能的GF135成为标准配置超高纯度表面贴装或VCR®MFC封装，提供轻松升级的途径现有系统上的关键气体管线。使用GF135，用户将能够利用增强的工艺气体精度，市场的压力瞬态性能和MFC健康指标等作为传感器稳定性和阀门关闭（泄漏）的自动趋势。 使用这些
运行状况指示器和用户可编程的警报限值，通过MFC服务端口或远程数字命令，用户可以建立限制以提高产量和/或管理维护计划以蕞大化正常运行时间。

特征
实时流量错误检测
传感器稳定性跟踪
阀门漏气跟踪
3 sccm至5 slm的流量范围
流量精度：
±1％SP（10-100％FS）
±1％SP加上±0.04％FS（2-10％FS）
大工作压力100 psia
常闭阀
耐腐蚀哈氏合金传感器
10至50°C（50至122°F）的工作温度

特点与优势
实时流量错误检测通过捕获晶圆影响流量偏差来支持良率提高计划
传感器稳定性跟踪通过支持预测性维护来改善系统正常运行时间
通过跟踪阀门泄漏，允许用户监控和设置极限，以蕞大程度地减少*晶圆影响
提高工艺气体精度应对10nm的工艺气体化学控制挑战
市场的超快速流沉降时间，通过减少非生产性的流稳定步骤，优化了晶圆处理周期时间。
支持高级3D设备处理
增强的压力不敏感性出色的工艺气体控制，可增强蚀刻和沉积控制
耐腐蚀的Hastelloy®传感器提供的长期传感器稳定性，确保大的产量和产量
用于表面安装和VCR MFC的即插即用升级轻松升级现有系统上的关键气体管线

产品美国Brooks热质量流量控制器GF135

实时流量错误检测
流量传感器中过程污染物的堆积导致更高的超过指示的实际流量。过程中污染物的积累限流器导致低于指示的实际流量。处理阀孔或阀座上的污染物导致泄漏超过阀。所有这些情况都可能导致晶圆损失和成本下降数千。使用标准MFC时，这些错误不能在不停止生产以进行流量检查的情况下进行检测。的
GF135拥有正在申请专LI的实时流量错误检测和使用不受干扰的衰减率（ROD）技术进行趋势分析典型的MFC故障/降级模式可确保准确且可靠的诊断功能。在工具建立基线之后启动时，GF135可以检测流量，漂移和泄漏率的变化。安装GF135后，调试程序将创建一个实际过程条件下的性能基准。晶圆期间
处理时，设备会自动进行流量错误检测在每个新的过程设定点读取读数并将结果与基线。专有的ROD测量技术暂时停止从工具向上游输送气体保持流向处理室处的流量请求的流速。高精度的压力测量是当气体从入口容积中耗尽时进行先进的信号处理算法可计算出ROD流量即时的。在流程流受到影响之前压力减小，上游供应重新建立不会干扰输送的流量。通过计算流量晶圆加工过程中的各种设定点，MFC检测到任何传感器或旁路堵塞。它还检测传感器偏移量是否为由于堵塞和漂移的影响明显而发展自己在不同的设定点上有所不同。相同的方法是当MFC的设定值为零来计算阀门泄漏时使用。这使MFC能够测量零偏移。 MFC可以报告阀门泄漏，传感器偏移和通过工具向工具的流量偏移记录的接口协议，如果有，还可以自动更正用户启用该功能。后，MFC将这些数据存储为一年，并且可以使用历史数据报告更改。通过提供对流量变化的自动监控，GF135能够为用户提供晶片的实时警告影响流量偏差。

超快速反应
通过结合Brooks的专li流量传感器技术与
高速ARM处理器和速动隔膜无阀
GF系列组装后的响应速度提高了3倍
和其他质量流量控制器相比，建立时间
启用：
•通过减少非生产流来提高晶圆产量

解决步骤
•关键的蚀刻和3D设备工艺需要超快速的分流
500毫秒蚀刻步骤
•减少转移的气体消耗量和相关的
减排成本
•原子层沉积（ALD）中对时间敏感的气体输送步骤
•需要缓慢开启或开启气体的过程
用户流量之间的关键转换
可编程斜坡功能