6221电流源，Keithley 6200 系列超灵敏电流源，6220 型直流电流源和 6221 型交流和直流电流源将易用性与极低的电流噪声相结合。 在测试环境中，从研发到生产，尤其是在半导体、纳米技术和超导体行业，低电流源对于应用至关重要。 6220 型和 6221 型具有高精度源和内置控制功能，非常适合使用增量模式、脉冲测量和微分电导测量的霍尔测量、电阻测量等应用。

特点：

• 10 ¹⁴ Ω 输出阻抗
• 65000 点源内存
• 输出 0.1V 至 105V 的恒流电压，10mV 步长
• 源交流电源范围为 4pA 至 210mA 峰峰值 (6221)
• 10MHz 输出更新速率 (6221)
• 内置标准和任意波形发生器，频率范围为 1mHz 至 100kHz (6221)
• 可编程脉冲宽度短至 5μs (6221)
• 可重新配置的三同轴输出
   

优势:

• 提供广泛的输出阻抗，确保负载中有稳定的电流源。
• 允许直接从电流源执行全面的测试电流扫描。
• 防止潜在损坏对过电压敏感的设备。
• 支持元器件和材料的交流检定。
• 生成高达 100kHz 的平滑正弦波。
• 支持用作复杂的可编程负载或传感器信号以及用于噪声模拟。
• 限制易损低功率元器件的功耗，与 2182A 型纳伏表配合使用时支持低至 50μs 的脉冲式 I-V 测量。
• 简化匹配应用的防护要求的过程。
   

6221电流源

6220直流电流源和6221交流/直流电流源是非常易于使用的超低电流噪声电流 源。低电流的产生在从许多研发到生产，尤其是在半导体、纳米技术和超导行业方 面的测试环境应用非常重要。高准确度的源和内建控制功能使6220和6221成为霍尔 测量、使用delta模式的电阻测量、脉冲测量和微分电导测量等应用的理想选择。

6220和6221的特点:

• 源和阱（可编程负载）100fA～ 100mA
• 1014Ω输出阻抗确保能为各种负 载提供稳定的电流源
• 65000点源存储容量允许直接从 电流源执行全面测试电流扫描
• 内建RS-232、GPIB、触发链路和 数字I/O接口
• 可重配置三同轴输出，便于带防 护功能的应用需求
• 220型仿真模式无需对现有应用 重新编程

6221*特点:

• 4pA～210mA峰峰值交流电流源， 用于元件和材料的交流特性分 析。6221的10MHz输出更新速率 能够产生100kHz的光滑正弦波
• 内建1mHz～100kHz频率范围的标 准波形和任意波形。应用领域包 括复杂可编程负载或传感器信号 以及噪声仿真
• 短至5μs的可编程脉宽，能够 限制元件的功耗。当配合 2182A纳伏表使用时，能测量 窄50μs的脉冲I-V
• 内置以太网接口，无需GPIB控制 卡即可轻松实现远程控制

• 纳米技术
  -微分电导
  -脉冲式信号源与电阻
• 光电应用
  -脉冲式I-V
• 替换交流电阻桥（当结合2182A使用时）
  -低功率电阻测量
• 替换锁定放大器（当结合2182A使用时）
  -低噪声电阻测量

对精密、低电流源的需求。对当今小型和高功率效率电子器件的测试和特性分 析需要输出低电平电流，这需要采用精密的低电流源。较低的激励电流在器件两端 产生较低（因而更难测量）的电压。将6220或6221与2182A纳伏表组合可以妥善地处 理这两方面的挑战。

交流电流源和电流源波形发生器。6221是市面上唯——款低电流交流电流源。 在推出6221之前，研究人员和工程师不得不自己搭建交流电流源。这款经济有效的 源在准确度、一致性、可靠性和鲁棒性方面比“自制”方案更好。6221电流源波形发生器，它能极大地简化创建和输出复杂波形。

编程简单。这两款电流源可以从前面板控件或从外部控制器通过RS-232或 GPIB接口进行*编程；6221还具有以太网接口，可以通过任何以太网连接进行远 程控制。这两款仪器能输出100fA～105mA的直 流电流；6221还能输出4pA～210mA峰峰值的 交流电流。这两款电流源能以10mV步长设置 0.1V～105V的输出电压。大电压（电流源输出 电流时能达到的电压极限）的重要性在于应用 中过压可能损坏被测器件（DUT）。

直接替换220型电流源。6220和6221构建在 吉时利很受欢迎的220型可编程电流源之上； 在现有应用中，用6220/6221替换220型就能很 容易地实现220型的仿真模式，无需重写控制 代码。

容易设定和执行电流扫描。6220和6221都 提供设定电流斜波的工具，并且通过使用触发 器或定时器以步进式输出多达65,536种输出值 的预定义序列。这两款电流源都支持线性、对 数和自定义方式扫描。

6221结合了高分辨率电流源和兆赫兹的更新速率，因而它以高保真度模拟的电流 信号与模拟电流斜波很难分辨。

免费的仪器控制实例启动软件

电流源的仪器控制实例软件简化了采用吉时利2182A执行基本电流源任务以及调 整复杂的测量功能。这款在LabVIEW编程环境中开发的软件包含一份进阶测量指南， 这有助于用户设置仪器和正确连接，以及设置基本电流源功能。此软件包具有支持 delta模式、微分电导和脉冲模式测量等*工具。使用此软件包，用户能打印用于任 何预编程函数的仪器指令，它提供在定制应用中包含这些函数的起点。

微分电导

微分电导测量是非线性隧道器件和低温器件重要和关键的测量之一。数学上 的微分电导是器件I-V曲线的导数。6220或6221与2182A纳伏表的结合使用是业内完 整的微分电导测量方案。比其它可选方法的速度快10 倍而且噪声低很多。在一次测量中就能获取数据，无需经过通过多次扫描再将结果进 行平均，这既耗时又容易产生误差。而且，622X和2182A简单易用，因为它们的组合可 以作为单台测量仪器使用。它们简单的连接消除了其它方案很难处理的隔离和噪声电 流问题。

图1. 运行、分析和显示微分电导测量。

Delta模式

初，吉时利为电压和电阻低噪声测量开发的delta模式法需要将2182纳伏表和可 触发外部电流源结合使用。实际上，delta模式能自动触发电流源使信号极性交替变 化，然后在每个极性上触发纳伏表读数。此电流反向法消除了任何恒定的热电失调， 从而确保测量结果反映了真实的电压值。

同样地，这种基本方法已在622X和2182A的delta模式中采用，但是此方法在实现 中已被极大地增强和简化。现在，此方法消除了随时间漂移的热电失调，只用以前方 法的一半时间就能产生结果，而且允许电流源控制和设置纳伏表，因而仅需两次按钮 便能完成测量设置。改进的热电失调消除和较高的读速率可将测量噪声降低至1n

图2. Delta模式提供1000:1噪声衰减

Delta模式能准确测量低电压和小电阻。将622X和2182A正确连接后，用户只 用按下电流源的Delta按钮，再按下Trigger按钮，就能启动测试。622X和2182A能 无缝地配合工作并能通过GPIB接口（6221的GPIB或以太网接口）进行控制。622X 提供免费的控制软件实例，包括“带领”用户完成delta模式设置过程的指南。

脉冲测试

即使测量过程本身引入的少量热量也会提升DUT的温度，从而使测试结果偏 移或甚至损坏器件。通过在脉冲测量过程中为提供用户设置脉冲电流幅 度、脉冲间隔、脉冲宽度和其它脉冲参数等大灵活性，6221的脉冲测量功能使 DUT的功耗降至低。

6221凭借全量程微秒级上升时间使短脉冲（因而降低了热耗散）成为可 能。6221/2182A组合使脉冲和测量同步——可以在6221施加脉冲后16μs立即开 始测量。包括完整的纳伏级电压测量在内的整个脉冲宽度可仅为50μs。6221和 2182A之间的工频同步消除了电力线相关的噪声。

标准波形和任意波形发生器

6221是一款低电流电流源波形发生器。它能设置产生基本波形 （正弦波、方波、三角波和斜波）并且用支持逐点定义波形的任意波形发生器 （ARB）来定制波形。它能以10兆次采样/秒的输出更新速率产生1mHz～100kHz频 率范围的波形。

性能优于交流电阻桥和锁定放大器

相对交流电阻器桥和锁定放大器而言，622X/2182A组合具有许多优点，包括 噪声低、输出的电流更小、测量的电压更小、到DUT的功耗更小而且成本低。而 且，无需电流前置放大器。

6221还能在已经采用锁定放大器 的应用中，扩展锁定放大器的功能。 例如，它能清洁信号并且其输出同步 信号使其成为锁定应用（例如测量器 件的第二和第三谐波响应）的理想输 出源。

6220和6221与自制电流源比较

许多需要电流源的研究人员和工 程师尝试用电压源和串联电阻器来 凑合。这是需要交流电流时的常用方 法。这是由于在6220/6221推出之前 市面上没有交流电流源出售。然而， 自制的电流源与真电流源相比有许多 缺点：

• 自制电流源没有大电压。您可能 想确定在您自制的“电流源”端子 上的电压永远不超过某个界限（例 如，就许多光电器件来说是1～2V） 。实现这个直接方法是将电压源 降至那个电压界限。这需要降低串 联电阻以获得所需的电流。如果您 想设置不同的电流，就必须改变电 阻器的同时电压保持不变！另一种 可能的办法是给DUT并联一个保护 电路。这些操作没有精密的电压控 制并且总是用作并联器件，因而“ 获取”了一部分流向DUT的设置电 流。
• 自制电流源的输出不可预测。使用 由电压源和串联电阻器制成的自 制“电流源”，DUT的阻抗构成分压 器。如果DUT电阻是*可预测的， 那么就能知道电流，但如果DUT电阻 像大多数器件那样未知或变化，那 么电流不再简单地是施加电压的函 数。让电流源可预测的方法是 使用*电阻值的串联电阻器（并 且相应地采用高压电压源），这与 所需的大电压恰好矛盾。
  虽然可以知道（如果不能控 制）来自这种不可预测电流源的实 际电流，但是也需要付出代价。这 可以补充测量电流（例如用电压表 测量串联电阻器的压降）来实现。 这种测量能被用作反馈以改变电压 源或简单地记录下来。无论是哪种 方法，它都需要附加的设备，这进 一步增加了复杂度或误差。更糟的 是，如果自制电流源采用大串联电 阻进行一般预测，那么此回读需要 用静电计以确保准确度。

2182A纳伏表

2182A扩展了吉时利原有2182纳伏 表的功能。虽然6220和6221兼容2182 ，但是使用2182进行delta模式和微 分电导测量需要的时间是使用2182A 的两倍。与2182A不同，2182不支持脉 冲模式测量。

图3. 工频同步的测量将50Hz/60Hz干扰降至低。

图4. 使用6221和免费的启动控制软件实例，通 过加、乘、连接起来，或者对标准波形施加滤波 器等操作轻松创建复杂波形。

622X/2182A组合的应用

• 容易协调仪器而且直观的软件实例简 化了许多应用的设置和操作。
• 10nΩ～100MΩ电阻测量范围。一种测 量系统可用于宽范围器件。
• 以低噪声性能替代用于测量电阻的交 流电阻桥和锁定放大器。
• 以50μs的窄脉宽调整脉冲和测量（仅 6221）。
• 测量微分电导的速度比以前的方案快 10倍而且噪声较低。微分电导是用于 描述衬底材料能态密度的半导体研究 的重要参数。
• Delta模式使电阻测量中的噪声降低了 1000倍。
• 对于低阻抗霍尔测量，622X/2182A组 合的delta工作模式具有业界噪声性能和接触电位抑制。对于较高 阻抗霍尔测量（大于100MΩ）,4200- SCS能取代电流源、开关和多种高阻抗 电压测量通道。这提供了带预编程测 试项目的完整方案。