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半导体行业IH80爱德华干泵维修
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生产厂家
东莞市钥大真空设备有限公司成立于2013年。座落于世界制造名城-广东省东莞市寮步镇。公司以销售进口真空泵,真空泵配件,进口真空泵维修和设计安装真空*负压系统的研究开发与生产、销售的专业公司,生产和销售的产品主要有:产销钥大单级旋片油式真空泵,无油活塞泵。并销售德国(Leybold)莱宝、德国(Busch)普旭、德国(BECKER)贝克、德国(Rietschle)里其乐、英国(Edwards)爱德华、阿尔卡特 日本爱发科 等国外真空泵及真空泵油、真空泵配件。并有专业的维修服务团队为客户提供爱德华真空泵维修、莱宝真空泵维修、爱发科真空泵维修、阿尔卡特真空泵维修。公司以“科技保证质量,服务完善产品”的经营理念为广大客户提供优质的真空泵产品和真空泵维修服务。
半导体行业IH80爱德华干泵维修.Edwards爱德华高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性能。
iH 系列真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠xing。通常情况下在使用螺杆泵时,应定期的对螺杆泵进行检查,发现故障要及时维修。般螺杆泵检修主要有小修和大修之分,螺杆泵小修的检查周期用在6个月左右,大修的检查周期应在24个月。根据螺杆泵运行状况及状态监测结果可适当调整检修周期。
半导体行业IH80爱德华干泵维修前准备在检修螺杆泵前应做好以下准备工作。
①掌握运行情况,备齐必要的图纸资料。
②备齐检修工具、量具、配件及材料。
③切断电源及设备与系统联系,内部介质冷却、吹扫、置换干净,符合安全检修条件。
螺杆泵的拆卸与检查
拆卸螺杆泵时应按以下步骤进行。
①检查电动机电源;电源应断开,并将电源开关上锁。检查出、人口阀门关闭情况,若没有关闭,应关紧。
②松开电动机与泵轴之间的联轴器的连接螺栓,卸下联轴器。
③拆卸检查同步齿轮。
对于单螺杆泵或三螺杆泵,拆卸泵后端盖,检查垫片、止推垫片、轴承、轴向定位塞。
对于双螺杆泵,拆卸泵后端盖,拆卸检查轴承及密封。
④拆卸前端盖,拆卸检查主、从动螺秆及密封。
⑤必要时更换端盖与泵体之间垫片。
半导体行业IH80爱德华干泵维修,超长保固期。