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日本Union DH2高精度非接触深度测量显微镜
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日本Union DH2高精度非接触深度测量显微镜 采用光学和非接触方法探测焦距的方法,测量不会给样品造成变形或划痕等影响,这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用,以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高精度的测量..
日本Union DH2高精度非接触深度测量显微镜优势:
◎ 高精度的图像自动聚焦系统的测量结果和精确度是很可靠的,没有人为的因素。
◎ 通过电脑控制,可以完成多点的自动连续测量,高级的资料处理软体可以*的提高测量时间。
功能: 非接触测量微细的撞击、台阶等。
◎ 通过高精度的光学聚焦点检测和精确的聚 焦指示器完成高精确的测量
◎ 简单的操作
◎ Z轴测量行程可从几个μm 到10mm
◎ 同时还可以完成测量点的表面观察 观 测 头: 三目 Z轴测量范围: 0.1μm 读数,10mm 行程 Z轴测量精度: 3σ=1μm (40×) 光学镜身: 精确的自动聚焦单元 物 镜: 5× - 100× 测量软体: 4种模式 资料处理软体: 显示大值,小值,平均值,标准偏差值等