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透射电镜原位MEMS加热/电学测量系统
北京麦迪森科技有限公司是一家集成真空、光电、测试系统的创新科技型企业，为科研用户和企业提供高性能产品及专业的测试系统集成方案，*与该领域的国内外制造商密切合作，共同解决用户的技术难题。
我们的产品主要包含真空、光学、测试系统三大类。真空类产品涵盖各种真空泵、真空腔体、真空法兰、真空阀门、真空接头及相关附件。光学类产品涵盖光谱仪、激光器、光学支架、减震台、高精度位移台、光学镜片等相关附件。测试系统涵盖电阻率测试系统、霍尔测试系统、半导体性能测试系统、磁光测试系统、变温光电测试系统及相关的高精密测试仪表。
详细信息
透射电镜原位MEMS加热/电学测量系统， 透射电子显微镜可以在较高时间分辨率下得到原子级空间分辨率。透射电子显微镜原位加热/电学测量系统是在标准外形的透射电镜样品杆内安装MEMS工艺制成的微加热芯片和电学测量芯片。微加热芯片可对样品进行可控温度的加热，电学测量芯片可对样品进行电性质测量。并可在进行加热和电学测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，*地扩展了透射电子显微镜的功能与应用领域。
本系统硬件包括两部分，分别是加热/电学测量控制器、原位MEMS芯片样品杆。软件包括自动控温软件和自动电学测量软件。
性能指标
透射电子显微镜指标：
● 兼容型号电镜及极靴；
● 单倾可选高倾角版本；
● 可选双倾版本，β角倾转±25°（同时受限于极靴）；
● 测量电极数可选。
电学测量指标：
● 包含一个电流电压测试单元；
● 电压输出大±200 V，小±100 nV；
● 电流测量大±1.5 A，小100 fA；
● 恒压或者恒流模式；
● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。
加热与温控指标：
● 温度控制范围：室温到1200 ℃；
● 加热功率：大30 W；
● 控温稳定性：优于±0.1 ℃；
● 大升温速率：1000 ℃/ms。
