• 美国派克PARKER派克超高纯贴面安装隔膜阀产品概览：

• 派克SM90系列贴面安装不锈钢阀体隔膜阀(1-1/8和 1-1/2阀体尺寸) 提供优异的泄露完整性、高循环寿命和低粒子生成，使其UHP超高纯半导体应用的理想选择 (1-1/8 and 1-1/2 inch body sizes) 。

  
  SM930系列与工艺流体接触部分无螺纹或弹簧，大限度地减少粒子生成和气体截留，减少对半导体应用至关重要的过程污染。阀门的严格设计控制阀座和膜片应力，提供稳定和无需维护使用寿命。SM930系列接液部件由特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄露完整性。阀体为内部电解抛光Vericlean™ 316L不锈钢。Vericlean™ 是派克的UHP超高纯级不锈钢。隔膜材料为高强度钴基合金。SM930系列同时提供PCTFE, PEEK® 和Vespel® 阀座材料，允许SM930与多种工艺流体兼容。这些材料由SM955系列严格设计组成，使SM930系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命，入口压力高达250 psig.
  
  SM930系列气动阀可配套限位开关或接近开关提供开-关位置指示。也有多种阀体结构，包括930Y（Y阀）和930（面密封和短管接口）.
  
  SM930系列阀门的内部（阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪达到在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.
  
  市场:
  • 半导体
  • 分析试验室
  • 制药
  • 生物制药
  • 航空航天
  • 工业
  
  特点/优势:
  • 有C和W密封贴面安装1-1/8

  和1-1/2

  阀体尺寸
  • 5微英寸(Ra粗糙度)电抛光表面处理
  • 高循环寿命(包括腐蚀性工矿)
  • 内部无弹簧无螺纹，大限度地减少粒子生成和气体截留
  • 压力范围：真空到250 psig
  • 内漏率:≤ 1 x 10-9 立方厘米/秒 He
  • 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
  • 常规气动动作压力75 psig
  
  应用:
  • 腐蚀性和特殊气体
  • 半导体工具
  • 工具挂钩
  • 气体柜
  • 阀组箱 (VMB)
  
  
  VeriClean™是派克汉尼汾公司商标
  Vespel® 是杜邦杜邦高性能弹性体公司注册商标
  PEEK™ 是威格斯公司商标

美国派克PARKER派克超高纯贴面安装隔膜阀技术规格：

性能特点

阀体材料                                         洁净316L不锈钢

隔膜材料                                         埃尔吉洛伊非磁性合金，等价

阀座材料                                         PCTFE (标准), PEEK, Vespel

帽材料                                            17-4不锈钢

螺母材料                                         316L不锈钢

爆破压力                                         375 psig (26 barg) (LPNC, LPNO, LP1NC, G)

                                                     750 psig (52 barg) (I, K, M)

可承受压力                                     188 psig (13 barg) (LPNC, LPNO, LP1NC, G)

                                                     375 psig (26 barg) (I, K, M)

流速                                                Cv 0.25 (低压)

                                                     Cv 0.20 (手动1/4圈)

内部泄漏率                                     < 1 x 10-9 标准立方厘米/秒 He

外部泄漏率                                     < 2 x 10-10 scc/sec He

表面处理                                         5微英寸粗糙度或更少

大入口额定压力                            125 psig (8.6 barg) (低压常闭, 低压常开, 低压1常闭, G)

                                                     250 psig (17 barg) (I, K, M)

小入口额定压力                             真空

启动压力                                          75 psig (5 barg) 标称

烘烤温度                                          in the open position: 250 °F

                                                      121°C 在开启位置 °C

z高运行温度                                   66 °C

                                                      150 °F

低运行温度                                    -40 °C

                                                       -40 °F

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