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CINDBEST CGO-4高低温真空探针台测试系统
高级会员第8年
代理商深圳市新玛科技有限公司致力于电子测试测量领域为客户提供的测试和高效的解决方案和全面的系统服务,提供通用测试产品,示波器、逻辑分析仪、信号源、交流、直流电源、数据采集器、交流、直流电子负载仪和频谱分析仪、安规测试、 电能质量分析仪以及数字万用表、功率分析仪、热成像仪、绝缘电阻测试仪。包括全套电磁兼容EMC测试和EMC整改的解决方案,专业提供电磁兼容测试系统,电磁干扰EMI抗干扰EMS诊断系统,并提供专家级的技术和咨询服务。为各个工业领域提供创新服务模式涵盖测试仪器销售、 计量校准、维修维护以及面向企业级客户端的系统集成服务,产品覆盖通信、工业电子制造、新能源、微电子、 航空航天,科研院所大学等行业, 我们严格遵循以合格的产品去服务于客户,帮助客户选择适合的解决方案。
随着中国市场越来越多的进口设备进入中国在中国每年有数量众多的技术*,价格昂贵的设备因为没有合理的配备而闲置,对于每一个面对竞争的企业来说,这种浪费是致命的,我们认为我们必须了解客户的需求,将行业内众多成熟的方案帮助中小型技术企业客户实现合理的配置同时提高产品的稳定性和可靠性,并降低产品开发成本和生产成本。
新玛通过与Agilent、Fluke、Tektronix、Pacific、HIOKI、Yokogawa、Rohde-schwarz等厂商的合作,为客户提供产品应用解决方案、计量校准、维修维护和科技资产外包管理等综合服务。
新玛通过与业务伙伴的紧密合作,凭借便捷的进货渠道和服务网络,为客户提供专业的产品选型、技术支持、现场测试等快捷的本地化服务,成为电子测试领域的综合服务商。
CGO-4高低温真空探针台测试系统
77K-675K(液氮);
超高温度分辨率;
低温具有*稳定性
特点/应用
2至6英寸样品台
高真空腔体
防辐射屏设计,样品温度均匀性更好
77K-675K高低温环境
兼容IV/CV/RF测试
外置多探针臂,移动行程大
经济实用,可无缝升级
CGO-4高低温真空探针台测试系统
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试:
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
腔体规格:
型号 | CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
样品台尺寸 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
样品固定 | 弹簧压片 |
观察窗口 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
真空度 | 10-6torr |
探针臂接口 | 4~6个探针臂接口 |
其他接口 | 电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口 |
制冷方式 | 液氮/液氦/制冷机 |
温度范围 | 77K到573K/4.5K到573K |
温控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
稳定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K |
外形 | 880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高 |
重量 | 约100千克/120千克 |
◆ 光学系统:
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移动行程 | 水平360度旋转,Z轴行程50.8mm |
光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
◆ 探针臂:
X-Y-Z移动行程 | 50mm*50mm*50mm |
结构 | 外置探针臂,真空波纹管结构 |
移动精度 | 10微米/1微米 |
线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 |
漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
频率支持 | DC-67GHZ |
针尖直径 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |