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CVD管式炉
高级会员第12年
生产厂家天津中环电炉股份有限公司位于天津北辰科技园区,创建于一九九三年,至今已拥有5000多平米的现代化标准厂房,成套的加工设备,现代化的三维产品设计,完善的质量检测体系。
公司于高低温真空/气氛电加热技术的研究、开发与应用,主要面向国内高校实验室以及科研机构。公司主要产品如下:
CVD系统炉、快速退火炉、石墨烯制备炉、镀膜炉、滑动炉、多工位回转炉;
1200℃/1400℃/1600℃ 真空气氛管式电炉;单/双/三/五/多温区真空气氛管式电炉;
1200℃ 开启旋转式单双温区真空气氛管式电炉;
1200℃/1400℃/1600℃ 立式真空气氛管式电炉;
1000℃/1200℃/1300℃/1600℃ 节能箱式电炉;
1300℃/1600℃ 箱式真空气氛炉
1400℃/1600℃ 真空/气氛管式电炉:梯度炉双温区、梯度炉三温区;
1400℃/1600℃ 升降式坩埚电炉;
鼓风/真空/远红外 干燥箱系列;
气体质量流量控制系统、气体浮子流量控制系统;
中真空系统,高真空系统;
计算机集散控制系统;
也可根据客户的具体要求定制非标产。
2010年5月,我公司研制的“开启式真空/气氛管式电炉”,经由国家科学技术委员会组织的科技技术成果鉴定会鉴定。
公司部分客户:清华大学,北京大学,北京化工大学,北京理工大学,中国矿业大学,*民族大学,北京航空航天大学,首都师范大学,中国地质大学,中国人民大学,南开大学,天津大学,天津科技大学,天津理工大学,天津商业大学,广东工业大学,华东理工大学,中山大学,哈尔滨工业大学,福州大学,厦门大学,中国科技大学,复旦大学,华南理工大学,上海交通大学,兰州大学,燕山大学,中国石油大学,山东大学,武汉科技大学,华中科技大学,武汉大学,黑龙江大学,吉林大学,大连理工大学,四川大学,首都钢铁公司,武汉钢铁公司,天津钢铁公司,*大连化学物理研究所,*化学研究所,*物理研究所,*理化技术研究所,*工程与过程所,*生态环境研究中心,国家纳米科学中心,北京有色金属研究总院等等上百所高校、科研机构、企业建立了良好的合作关系。
天津市中环实验电炉有限公司
地址:天津市北辰经济开发区双川道11号
CVD管式炉此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品组成:
此款CVD系统配置:
1.1200度开启式真空管式炉(可选配单温区、双温区)。
2.多路质量流量控制系统
3.真空系统(可选配中真空或高真空)
CVD管式炉产品特点:
1 控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。
2 气路快速连接法兰结构采用本公司*的知识产权设计,提高操作便捷性。
3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。
技术参数:
系统名称 | 1200℃单/双温区CVD系统 | |
系统型号 | CVD-12II-3Z/G | CVD-12II6-3Z/G |
极限温度 | 1200℃ | |
加热区长度 | 420mm | 600mm |
恒温区长度 | 280mm | 390mm |
温区 | 双温区 | 双温区 |
石英管管径 | Φ50/Φ60/Φ80mm | Φ80/Φ100mm |
额定功率 | 3.2Kw | 4.8Kw |
额定电压 | 220V | |
温度控制 | 国产程序控温系统50段程序控温; | |
控制精度 | ±1℃ | |
炉管极限工作温度 | <1200℃ | |
气路法兰 | 密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术,在密封法兰与管外壁间形成了密封,在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效,该密封法兰的安装只需在*使用设备的时候安装 | |
气体控制方式 | 质量流量计 | |
气路数量 | 3路(可根据具体需要选配气路数量) | |
流量范围 | 0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定 | |
精度 | ±1%F.S | |
响应时间 | ≤4sec | |
工作温度 | 5-45℃ | |
工作压力 | 进气压力0.05-0.3Mpa(表压力) | |
系统连接方式 | 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 | |
规格 | 高真空 | |
系统真空范围 | 1x10-3Pa-1x10-1Pa | |
真空泵 | 真空分子泵理论极限真空度5x10-6Pa抽气速度1200L/S额定电压220V 功率2KW | 真空分子泵理论极限真空度5x10-6Pa抽气速度1600L/S额定电压220V 功率2KW |
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炉体外形尺寸 | 340×580×555mm | 480×770×605mm |
系统外形尺寸 | 530x1440x750mm(不含高真空) | |
系统总重量 | 330kg |