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CVD管式炉

型号
参数
产地类别:国产 应用领域:化工,生物产业,石油,电子,冶金
天津中环电炉股份有限公司

高级会员12年 

生产厂家

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1200℃双温区CVD系统

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1200℃滑动式单温区/双温区/三温区CVD系统

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石墨烯系统

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接触角测量仪,超快高温烧结炉,马弗炉,箱式电炉,管式炉,排胶炉,钟罩炉,PECVD系统,CVD系统

天津中环电炉股份有限公司位于天津北辰科技园区,创建于一九九三年,至今已拥有5000多平米的现代化标准厂房,成套的加工设备,现代化的三维产品设计,完善的质量检测体系。

公司于高低温真空/气氛电加热技术的研究、开发与应用,主要面向国内高校实验室以及科研机构。公司主要产品如下:

  1. CVD系统炉、快速退火炉、石墨烯制备炉、镀膜炉、滑动炉、多工位回转炉;

  2. 1200℃/1400℃/1600℃ 真空气氛管式电炉;单/双/三/五/多温区真空气氛管式电炉;

  3. 1200℃ 开启旋转式单双温区真空气氛管式电炉;

  4. 1200℃/1400℃/1600℃ 立式真空气氛管式电炉;

  5. 1000℃/1200℃/1300℃/1600℃ 节能箱式电炉;

  6. 1300℃/1600℃ 箱式真空气氛炉

  7. 1400℃/1600℃ 真空/气氛管式电炉:梯度炉双温区、梯度炉三温区;

  8. 1400℃/1600℃ 升降式坩埚电炉;

  9. 鼓风/真空/远红外 干燥箱系列;

  10. 气体质量流量控制系统、气体浮子流量控制系统;

  11. 中真空系统,高真空系统;

  12. 计算机集散控制系统;

也可根据客户的具体要求定制非标产。

2010年5月,我公司研制的“开启式真空/气氛管式电炉”,经由国家科学技术委员会组织的科技技术成果鉴定会鉴定。

公司部分客户:清华大学,北京大学,北京化工大学,北京理工大学,中国矿业大学,*民族大学,北京航空航天大学,首都师范大学,中国地质大学,中国人民大学,南开大学,天津大学,天津科技大学,天津理工大学,天津商业大学,广东工业大学,华东理工大学,中山大学,哈尔滨工业大学,福州大学,厦门大学,中国科技大学,复旦大学,华南理工大学,上海交通大学,兰州大学,燕山大学,中国石油大学,山东大学,武汉科技大学,华中科技大学,武汉大学,黑龙江大学,吉林大学,大连理工大学,四川大学,首都钢铁公司,武汉钢铁公司,天津钢铁公司,*大连化学物理研究所,*化学研究所,*物理研究所,*理化技术研究所,*工程与过程所,*生态环境研究中心,国家纳米科学中心,北京有色金属研究总院等等上百所高校、科研机构、企业建立了良好的合作关系。

天津市中环实验电炉有限公司

地址:天津市北辰经济开发区双川道11号








详细信息

CVD管式炉此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

产品组成:

此款CVD系统配置:

1.1200度开启式真空管式炉(可选配单温区、双温区)。

2.多路质量流量控制系统

3.真空系统(可选配中真空或高真空)    

CVD管式炉产品特点:

1 控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。

2 气路快速连接法兰结构采用本公司*的知识产权设计,提高操作便捷性。

3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。

技术参数:

系统名称

1200℃单/双温区CVD系统

系统型号

CVD-12II-3Z/G

CVD-12II6-3Z/G

极限温度

1200℃

加热区长度

420mm

600mm

恒温区长度

280mm

390mm

温区

双温区

双温区

石英管管径

Φ50/Φ60/Φ80mm

Φ80/Φ100mm

额定功率

3.2Kw

4.8Kw

额定电压

220V

温度控制

国产程序控温系统50段程序控温;

控制精度

±1℃

炉管极限工作温度

<1200℃

气路法兰

密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术,在密封法兰与管外壁间形成了密封,在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效,该密封法兰的安装只需在*使用设备的时候安装

气体控制方式

质量流量计

气路数量

3路(可根据具体需要选配气路数量)

流量范围

0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定

精度

±1%F.S

响应时间

≤4sec

工作温度

5-45℃

工作压力

进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)

系统连接方式

采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

规格

高真空

系统真空范围

1x10-3Pa-1x10-1Pa

真空泵

真空分子泵理论极限真空度5x10-6Pa抽气速度1200L/S额定电压220V    功率2KW

真空分子泵理论极限真空度5x10-6Pa抽气速度1600L/S额定电压220V  功率2KW





炉体外形尺寸

340×580×555mm

480×770×605mm

系统外形尺寸

530x1440x750mm(不含高真空)

系统总重量

330kg



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产品参数

产地类别 国产
应用领域 化工,生物产业,石油,电子,冶金
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