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C1-007/C1-008 厌氧高温气氛炉
- 型号
- C1-007/C1-008
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详细信息
日本雅玛拓C1-007/C1-008厌氧高温气氛炉
C1-007（温度600℃、氧浓度20ppm）
● 用途：电子无器件高温处理工艺
● 高工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下
● 程序运转功能，有自动/手动两种操作模式
● 快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式
● 配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等
● 在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置
C1-008（温度500℃、洁净度100级、氧浓度20ppm）
● 用途：光刻工艺后段，光刻胶固化
● 高工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下
● 程序运转功能，有自动/手动两种操作模式
● 快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式
● 配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等全不锈钢材质
● 在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置
日本雅玛拓C1-007/C1-008厌氧高温气氛炉技术规格
| 型号 | C1-007 |
| 温度范围 | 室温+30～360℃ 室温+50～600℃ |
| 温度分布精度 | ±4.0℃（at 360℃） ±8.0℃（at 600℃） |
| 温度上升时间 | 60min（室温→360℃） 90min（室温→600℃） |
| 温度下降时间 | 90min（360℃→50℃） 120min（600℃→50℃） |
| 氧浓度 | 20ppm以下 |
| 氧浓度下降时间 | 约45分钟 |
| 运转功能 | 定值运转、程序运转 |
| 装备 | 氮气导入装置、水冷装置、差压计等 |
| 内尺寸 | W600×D600×H600mm |
| 电源 | 3相 AC380V |
| 型号 | C1-008 |
| 温度范围 | 室温+30～360℃ 室温+50～500℃ |
| 温度分布精度 | ±4.0℃（at 360℃） ±8.0℃（a500℃） |
| 温度上升时间 | 60min（室温→360℃） 90min（室温→500℃） |
| 温度下降时间 | 90min（360℃→50℃） 120min（500℃→50℃） |
| 氧浓度 | 20ppm以下 |
| 氧浓度下降时间 | 约45分钟 |
| 洁净度 | 100级 |
| 装备 | 氮气导入装置、水冷装置、差压计等 |
| 内尺寸 | W600×D600×H600mm |
| 电源 | 3相 AC380V |
