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仪COSMOS-3X 日本电测densoku高精度荧光X射线膜测厚仪
中级会员第5年
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日本电测densoku高精度荧光X射线膜测厚仪仪COSMOS-3X
采用双重过滤器
通过使用除数值滤波器以外的机械滤波器(双重滤波器),可以在jia条件下进行测量,从而始终获得gao的精度。
完整的报告创建功能
通过采用MS-Windows软件,可以轻松捕获测量屏幕,并增强报告创建功能。使用多任务功能,即使在测量期间也可以进行包括报告创建在内的其他处理。
5种准直仪
小准直仪为0.1φmm,可以测量极小的零件。标准,0.1、0.2、0.5、1.0、2.0
另外,有两种特殊规格可供选择。
・ 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
・ 0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5
自诊断功能和X射线管维护功能
使用自诊断功能,可以迅速解决设备故障。此外,增加了显示X射线管使用时间和使用寿命的功能,以支持维护安全。
膜厚测量中的频谱显示
通过多通道进行光谱分析高速处理使显示被测物的光谱变得容易。(处理速度约2-3秒)
在测量部分显示监控图像
在Windows屏幕上捕获X射线照射单元并显示X射线照射单元。准直仪提供了改变尺寸的放大倍率功能。
Be 窗口X射线管(选件)提高的性能(高精度)
我们已经为荧光X射线胶片厚度计准备了Be窗口X射线管。
通过使用Be窗口X射线管,Cr测量和Ni测量的重复测量精度显着提高。
与标准X射线管的比较
Sn等的高能量(高原子序数)测定与以前相同。
当测量低能量(低原子序数)的Cr和Ni时,Cr的重复性提高了约3倍,Ni的重复性提高了约2倍。
当测量两层时,中间层中Ni的测量精度提高了约20%。
通过使用Be窗口X射线管,Cr的荧光X射线强度比常规标准设备的荧光X射线强度高大约9倍。
因此,可以在短时间内以与以前相同的精度进行测量。
请考虑使用此Be窗口X射线管。
日本电测densoku高精度荧光X射线膜测厚仪仪COSMOS-3X
类型 | 手动阶段 | ||
测量头 | 尺寸(毫米) | 170 x 110 | |
运动量 | X(毫米) | 70 | |
Y(毫米) | 70 | ||
Z(毫米) | 80 | ||
被测物体高度(大) | 80 | ||
尺寸(毫米) | 402(宽)x 430(深)x 580(高) | ||
重量(公斤) | 48 | ||
样品负荷(kg) | 3 | ||
电脑 | 尺寸(毫米) | 机身182(W)x 383(D)x 372(H) /显示器412(W)x 415(D)x 432(H) | |
重量(公斤) | 主机6.8 /显示器2.8 | ||
打印机 | 重量(公斤) | 3.4 | |
电源供应 | AC100V±10V的 |
(注)规格如有变更,恕不另行通知。
X射线源 | 油浸式微聚焦X射线管 靶:钨 管电压50kV, 管电流可变 |
照射方式 | 顶部垂直照射法 |
探测器 | 比例柜台 |
准直仪 | 5种(自动切换类型) 0.1、0.2、0.5、1.0、2.0φmm (选件):0.05、0.1、0.2、0.3、0.5 ,φ :0.05×0.5、0.5×0.05、0.1、0.2、0.5φ |
样品观察 | CCD彩色相机 |
电脑 | 兼容PC / AT的 15英寸彩色显示器 |
打印机 | 喷墨打印机 |
测量对象 | 原子序数22(Ti)至82(Pb) 原子序数21以下可通过吸收法测定 |
过滤 | 2种(Co,Ni)自动切换 |
可测范围 | 原子数22至24:0.02至约20μm 原子数25至40:0.01至约30μm 原子数41至51:0.02至约70μm 原子数52至82:0.05至约10μm |
校正曲线 | 自动校准曲线创建功能 多点校准曲线 |
校正功能 | 基础校正 |
应用 | 单层镀层测量 两层镀层测量 三层镀层测量 合金膜厚成分比同时测量 化学镀镍测量 |
测量功能 | 输出样式设定 频谱测量 两点之间的距离测量 |
数据处理功能 | 统计显示:平均值,标准偏差,大值,小值,范围,Cp,Cpk 直方图 轮廓显示 x-R控制图 |
安全功能 | X射线电源钥匙开关 故障安全功能 |
其他特性 | 密码功能 设备维护 |