renishaw激光干涉仪线性角度直线回转轴镜组

英国 renishaw 雷尼绍 XL80 激光干涉仪 镭射 数控机床加工中心精度检测校准

 激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是*的高精度、高灵敏度的检测手段，在制造领域应用广泛。

工作原理：

 激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

 若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

特点：

1、激光稳频精度 通过动态热控制技术将激光管长度变化控制在几纳米范围内，达到1年内精度为±0.05 ppm，1小时内精度为±0.02 ppm。

2、线性测量精度，精度为±0.5 ppm。可以高达50 kHZ频率读取数据，线性测量速度可达4 m/s，即使在速度下线性分辨率仍可达1 nm。

3、仪器内置的USB意味着激光系统与计算机之间无需单独的接口。

4、激光头前部的一排LED状态指示灯显示激光状态和信号强度，相当于将屏幕软件上的“状态显示”扩展到激光头上。

5、可以在标准 (40 m) 和长 (80 m) 距离模式之间切换

6、模拟I/O端口允许模拟信号输出和触发信号输入。

 使用注意事项：

1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。

2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。

3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。

4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。

5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。

6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。

7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。

 renishaw激光干涉仪线性角度直线回转轴镜组