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TM3 日本thermal测量薄膜和微小区域的热导率
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日本thermal测量薄膜和微小区域的热导率TM3
在样品上形成金属薄膜,并用加热激光器定期加热。
日本thermal测量薄膜和微小区域的热导率TM3
名称/产品名称 | 热物理显微镜/热显微镜 |
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测量方式 | 热物理性质分布测量(1维,2维,1点) |
测量项目 | 热渗透率,(热扩散率),(热导率) |
检测光斑直径 | 约3μm |
1点测量标准时间 | 10秒 |
待测薄膜 | 厚度几百纳米到几十微米 |
重复精度 | 耐热玻璃,硅的热渗透率小于±10% |
样品 | 1.样品架30mm x 30mm厚度5mm 2.板状样品30mm x 30mm以内,厚度3mm以内
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工作温度极限 | 24°C±1°C(根据设备中内置的温度传感器) |
平台移动距离 | ・ X轴方向20mm ・ Y轴方向20mm ・ Z轴方向10mm |
加热激光 | 半导体激光波长:808nm |
检测激光 | 半导体激光波长:658nm |
电源供应 | 交流100V 1.5kVA |
标准配件 | 样品架,参考样品 |
选项 | 光学压盘,空调,空调房,飞溅装置 |