一、用途：
TGP-50C明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头.本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中*的检测仪器之一.
二、技术参数
1.目镜
| 类 别 | 放大倍数 | 视场（mm） |
| 大视野目镜 | 10X | φ18 |
2.物镜
| 类 型 | 放大倍数 | 数值孔径NA | 工作距离（mm） |
| 长工作距离平场消色差物镜 | 5X（明场） | 0.12 | 18.3 |
| 10X（明暗场） | 0.25 | 8.9 |
| 20X（明暗场） | 0.40 | 8.7 |
| 40X（明暗场） | 0.60 | 3.7 |
| 80X（明场） | 0.80 | 0.96 |
3.光学放大倍数：50X -- 800X 系统参考放大倍数：50X-5000X
4.滤色片组：黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台：二层机械移动式（配有快速移动装置） 尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm
7.粗微同轴调焦机构，微动手轮格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W卤素灯，亮度可调
9.防霉：*的防霉系统
10.成像系统:500万高像素的数字摄像头
三、系统组成
大平台硅片检测显微镜（TGP-50C）: 1.显微镜 2.适配镜 3、500万高像素摄像头4、计算机（选配）
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜（TGP-50C）：50--40000倍 （17寸显示器为例）
五、选购件
1.硅片测量软件TX-3000C 2.目镜： 20X 10X（带刻度）
