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qirui RTP-1200快速退火炉
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上海骐锐信息科技有限公司是一家系统集成科贸企业。公司专业提供国产、进口精密测试仪器及系统集成解决方案，拥有一支专业技术服务团队，为新老客户提供完善的售前售后服务。 公司主要服务于通讯、电力、电子、石化、工业自动化、科研教学等行业。 公司全体同仁坚持诚信经营，时刻为客户提供高效满意的服务，以获取于客户长期愉快的合作，实现双赢。公司与以下国内外厂商建立了长期合作关系：日本安立公司，美国泰克 Tektronix 公司 南京盛普 Sample 公司 美国福禄克 Fluke 公司 北京普源精电 Rigol 公司 美国安捷仑 Agilent 公司 中国台湾茂迪 Motech 公司 美国艾法斯 Aeroflex 公司 中国台湾固纬 Goodwill 公司 美国吉时利 Keithley 公司 日本岩崎 Iwatsu 公司 美国国家仪器 NI 公司 日本爱德万 Advantest 公司 美国 Magtrol 公司 德国惠美 Hameg 公司 韩国 Tescom 公司 安徽 41 所 韩国金进 Jungjin 公司 常州同惠
详细信息
RTP-1200快速退火炉
该仪器：尺寸小巧，使用风冷、无须水冷，电流要求不高(3安培)，性价比高，使用方便，非常适合科研院所的科研使用。
技术规格：
- 加热方式：红外卤素灯，600W；
- 红外灯数量：4支；
- 升温速率：100℃/秒；
- 降温速率：50秒(1000℃ → 400℃)；
- 温度：1200℃；
- 温度精度：+/-0.3℃
- 大样品尺寸：15 x 20mm；
- 退火环境：真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢氮混合气等)；
- 真空泵及极限压力：机械泵，10-3Torr水平(选配)；
- 电压：220 V，单相；
- 仪器尺寸：400*300*450mm (W*D*H)；
- 质量：净重30Kg；
RTP-1200快速退火炉
仪器特点：
- 可在真空/不同气氛/空气不同环境下，对样品进行快速热处理；
- 温控精度高；
- 无须配置冷水机；
- 无须使用三相电，普通实验室单相电即可使用；
- 紧凑的台式设计；
- 仪器操作方便，样片装取容易；
- 适合高校或研究所科研使用；
- 价格合理，高性价比；
应用领域：
- 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing, RTA);
- 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation, RTO);
- 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation, RTN);
- 硅化 (Silicidation);
- 扩散 (Diffusion);
- 化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);
- 离子注入后退火 (Implant Annealing);
- 电极合金化 (Contact Alloying);
- 晶体化和致密化 (Crystallization and Densification);
- 合金熔点分析；
- 薄膜沉积；
- 等等…
