实验室气路工程规划设计要求科学、高效、安全、便利的原则。

采用不锈钢材质管路以及不锈钢街头卡套，全通阀芯，坚固耐用。

实验室气路工程规划设计使用*的自动焊接施工工艺安装管道、减压器、压力表、高压金属软管、钢瓶接头、焊接接头、卡套接头、不锈钢洁净管等。

（1）易燃性气体

把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃**气体都有一定的着火燃烧爆炸范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高，如B 2H6的爆炸上限为98%，爆炸下限为0.9%。属于**气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成工伤事故。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。

气体管路压力测试要求

1、管道试压应全面检查，检查已安装的管道、管件、阀门、紧固件和支架等，质量应符合设计要求和技术规范的规定。

2、管道试压应编制试压计划，根据工作压力系统进行试压。一般来说，在相同的大气环境中，不需要对非压力管道进行压力测试，例如排气管和排水管。

3.试压前，应使用盲板将不能进行试压的设备与管道和不同于压力系统的管道系统隔离开来。不应与管道系统一起进行压力测试的管道附件应拆除。短管的临时安装。

4.管道中的所有开口应关闭，系统中的阀门应打开。系统高点应配备排气阀，低点应配备排水阀。5.压力试验期间，应使用精度等级在1.5以上的两个压力表。

5.压力表的测量范围应为被测大压力的1.5~2倍。一个压力表应安装在试压泵的出口，另一个压力表应安装在系统压力波动相对较小的其他位置。

6.试压时，压力应缓慢升至试验压力，并观察管道各部分的情况。如果发现问题，应在卸压后进行修理，禁止带压修理。缺陷消除后，重新测试压力。

7、压力试验时，无关人员不能进入，以防受伤。

8.对于剧毒管线和设计压力P≥10Mpa的管线，在试压前，设计单位应根据规范要求对所有数据进行复核，并确认无误。

9.压力试验计划已获批准，并已进行技术交底。

10.管道系统试验合格后，应及时填写《管道系统压力试验记录》，并由相关人员签字确认。