世伟洛克原子沉积阀   
316L VIM-VAR ALD 阀，1/4 in. 内螺纹 VCR, SC-01, NC 耐热执行器，电磁导阀

 ALD3 和和 ALD6 隔膜阀特点隔膜阀特点

■ 常闭和常开气动执行器

■标准流量系数 0.27 到 0.62；可 提供定制流量系数

■ 两孔口直通和弯曲流动路径结构

■ 两孔口、三孔口和四孔口多孔口阀和多阀阀组

■使用 1.125 in.（仅 ALD3 系列）和1.5 in. 平台的两孔口和三孔口模块化表面安装阀门

■ C-密封设计（所有阀门）■ W-密封设计（仅 ALD3 系列）■1/4, 3/8 和 1/2 in. 以及 6, 10 和12 mm 的 VCR, “H” 型 VCR 和卡套管对焊端接隔膜隔膜

■ 钴基超级合金 (UNS R30003) 材料可提高强度和耐腐蚀性能

■ 优化的超高循环寿命设计阀座阀座

■ 全包含 阀座设计

■ 高纯级 PFA, 全氟化

■ 超高循环寿命

■ 广泛的化学相容性

■ 良好的抗膨胀和防污染能力

■ 高整体性阀座密封性能阀体阀体

■ 阀体密封提供了超高循环寿命

■ 316L VIM-VAR 不锈钢阀体材料, 用于超高纯应用

世伟洛克原子沉积阀   
316L VIM-VAR ALD 阀，1/4 in. 内螺纹 VCR, SC-01, NC 耐热执行器，电磁导阀

■ *可清扫流道

■截流区小化

■便于吹扫

■流量大化

■ 带加热筒安装孔的可选阀体执行器执行器标准标准

■高速, 可重复执行的气动执行器

■ 能够在不到5 ms内完成阀门开启或关闭

■ 工厂设置的流量调节装置保证阀门间准确的, 一致的Cv

■ 可选的、工厂设置好的电子执行器-位置传感器可用以确认气动执行阀门开启位置

■ 可选的电磁导阀, 用于高速执行的电子控制耐热耐热与标准执行器拥有相同的性能和选购件, 同时拥有以下特点：

■ 包括热应用场合的热隔离连接

■限制从阀体到执行器的传导性热传输

■ 提供更均匀的阀体温度来减少冷点

■显著降低加热阀门所需的电功率

■ 延长加热阀体应用场合下的执行器寿命目录目录ALD3 和和 ALD6 隔膜阀隔膜阀特点