德国PI六脚架Physik Instrumente传感器介绍

六脚架在紧凑的包装中提供六个自由度的运动。PI六脚架与测量传感器，软件和运动控制器相结合，使复杂的运动曲线易于控制，可满足工业要求。可以匹配驱动器类型，以满足各个应用程序的条件。

标准六足动物的的产品范围包括用于射线线实验中的样品定位的微型版本，用于光纤对准的分辨率动态定位器，以及用于工业生产过程的设备，在这些设备中六足动物以亚微米精度定位负载。

运动六脚架提供了更多的动态运动，并且设计成可以精度地遵循预定义的轨迹，例如在相机测试台上。

六模拟工具
平行运动学的工作空间限制会根据当前位置（平移和旋转坐标），枢轴点的当前坐标以及所选坐标系而变化。

六脚架负载的限值也随许多因素而变化：

六脚架的方向
质心的负载和位置
运动平台的位置（平移和旋转坐标）以及
作用在六脚架运动平台上的力和扭矩。

PI六脚架仿真工具可以并以图形方式表示所有这些影响因素。因此，可以在设置应用程序之前识别任何机械问题。

PI是运动和定位领域解决方案的供应商。
PI（Physik Instrumente）位移平台
在过去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已发展成为纳米定位技术的制造商。创业行为的关键要素和动机始终保持不变，多年来一直是精密定位技术市场。

德国Physik Instrumente (PI)系列介绍：

1. 德国PI XY位移平台

精度的2轴纳米定位系统集成了PICMA®压电执行器。通过使用质量的纳米计量传感器，可以实现具有稳定性的可重复，无漂移的定位

用于小负载的2轴压电扫描仪经常用于扫描和跟踪过程。它们的快速步进运动提高了光学系统的分辨率。这些包括相机技术中的成像过程和图像识别，例如用于生物识别或文档存档。

型号介绍：

紧凑型XY压电位移台

德国PI XY位移平台P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ纳米定位器：用于纳米定位的紧凑型两轴压电系统

德国PI XY位移平台P-620.2 – P-629.2 PIHera XY压电平台：行程范围可变的高精度XY纳米定位器

XY压电挠性位移台

德国PI XY位移平台P-612.2 XY压电纳米定位系统：紧凑，带光圈

P-541.2•P-542.2 XY压电平台：大口径薄型XY纳米定位系统

P-733.2 XY压电纳米定位器：精度XY光圈扫描仪

P-734 XY压电扫描仪：具有小跳动和清晰光圈的高动力系统

P-763紧凑型XY纳米定位系统：光圈清晰低剖面，经济的压电扫描仪，用于生物识别：CCD芯片可在两个轴上动态移动，以提高像素分辨率

P-713 XY压电扫描仪：具有效益的低矮OEM系统

P-545.xR8SPInanoXY（Z）压电系统：用于高分辨率显微镜的廉价纳米定位系统

P-545.xC8SPInanoCap XY（Z）压电系统：电容位置测量，用于超高分辨率显微镜

P-545.3D8SPInanoTrak压电跟踪系统：快速XY（Z）平台用于高动态显微镜

2.德国PI XYZ压电弯曲扫描仪

PICMA压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明，没有单一故障的1000亿次循环。

零游隙挠性导轨，导向精度高

挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可以在宽温度范围内工作。

平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度

所有的自由度均以单个固定参考为参考。可以实时地（取决于带宽）主动补偿与另一轴发生的不必要的运动串扰（主动引导）。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。

型号介绍：

德国PI XYZ压电弯曲扫描仪P-733.3 XYZ压电纳米定位器：精度XYZ光圈扫描仪

德国PI XYZ压电弯曲扫描仪P-616NanoCube®纳米定位器：紧凑的并联运动压电系统，用于纳米定位和光纤对准

德国PI XYZ压电弯曲扫描仪P-611.3NanoCube®XYZ压电系统：紧凑的多轴压电系统，用于纳米定位和光纤对准

德国PI XYZ压电弯曲扫描仪P-561•P-562•P-563 PIMars纳米定位台：精度纳米定位器，多可容纳3个轴

德国PI XYZ压电弯曲扫描仪P-517•P-527多轴压电扫描仪：动态纳米定位仪/扫描仪，具有直接位置测量功能

用于显微镜的压电挠曲XYZ扫描仪

德国PI XYZ压电弯曲扫描仪P-545.xR8SPInano®XY（Z）压电系统：用于分辨率显微镜的廉价纳米定位系统

德国PI P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）压电系统：电容位置测量，用于分辨率显微镜

德国PI P-545.3D8SPInano®Trak压电跟踪系统：快速XY（Z）平台用于动态显微镜

紧凑型精密XYZ纳米扫描仪

德国PI P-363 PicoCube XY（Z）压电扫描仪：高动态纳米定位系统，用于扫描探针显微镜

德国PI P-313 PicoCube XY（Z）压电扫描仪：皮克计精度高带宽，用于扫描探针显微镜

3.德国PI 线性压电挠性位移台

PI的纳米定位平台和扫描仪将纳米精度的分辨率和引导精度与小的串扰相结合。这使得它们特别适合于计量，微观过程，干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的应用。

带有PICMA®压电执行器驱动器和挠性导轨的线性压电平台可用于大1.5 mm的行程。

型号介绍：

压电挠性线性平台

德国PI P-630动态压电纳米定位系统：1轴大孔径

德国PI P-753 LISA线性执行器和平台：动态稳定

德国PI P-752高精度纳米定位台：动态和稳定的压电扫描仪，具有其德国PI的引导

德国PI P-750压电纳米定位系统：具有直接计量功能的负载压电驱动纳米定位系统

德国PI P-611.1线性压电定位系统：廉价，紧凑的线性定位系统

德国PI P-712线性压电扫描仪：紧凑型OEM系统

德国PI P-620.1 – P-629.1 PIHera压电线性精密定位器：可变行程范围和轴配置

德国PI压电挠性垂直平台

德国PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可变行程范围和轴配置

德国PI S-303压电移相器：高动态，纳米精密压电移相器

德国PI P-733.Z高动态Z纳米定位仪/扫描仪：直接位置测量和通光孔径

德国PI P-612.Z压电Z舞台：带孔的紧凑型纳米定位器

德国PI P-611.Z压电Z舞台：紧凑型纳米定位器

特色

德国PI PI P-725KHDS

德国PI P-725KHDSPIFOC高动态物镜扫描仪：重型物镜的纳米分辨率

德国PI 4.PI 微型六足动物

4，德国PI 微型六足动物

德国PI Q-Motion压电位移台内置了小的6自由度运动设备，也提供手掌大小的BLDC电机六足位移台。

使用的运动设计取决于应用中单个轴上运动的重要性。的平行运动六脚架设计可实现的整体性能均匀性。当需要相对较大的线性运动时，好采用薄型设计。

好使用采用PI的利PICMA或PiezoWalk®驱动技术的六脚架提供超高真空和非磁性环境。

德国PI 微型六足动物H-811.I2 / I2V 6轴微型六脚架：快速，紧凑，精度

德国PI 微型六足动物H-811.F2 6轴微型六脚架：光纤对准的选择

德国PI H-811.S2 6轴运动六脚架：快速而紧凑的动态应用

德国PI H-810 6轴微型六脚架：小空间内的高精度

德国PI P-911KNMV高压兼容的微型压电六脚架：即使在强磁场中也能进行精度定位

德国PI 5.PI 微型线性平台

5，德国PI 微型线性平台

微型阶段对于在可用空间有限的定位任务中至关重要。诸如Q-motion，PIline和PiezoWalk之类的压电电机解决方案由于具有直接驱动原理，因此可实现凑的平台。

型号介绍：

德国PI带有Q-Motion，PILine和PiezoWalk驱动器的微型平台

德国PI 微型线性平台U-523PILine线性平台：带有超声波压电电机的紧凑型线性平台

德国PI 微型线性平台Q-521 Q‑Motion微型线性平台：具有位置控制，高分辨率和价格合理的小线性平台

德国PI PI N-565 1200精度高的N-565线性平台：具有亚纳米编码器分辨率的NEXACT压电步进驱动器

德国PI U-521PILine线性平台：带有超声波压电电机的紧凑型线性平台

德国PI Q-545 Q Motion精密线性平台：压电马达带来的高力和小设计，带有PIMagVC VoiceCoil和三相直线电机，步进，直流和无刷直流电机的微型平台

德国PI M-110•M-111•M-112紧凑型线性平台：XY（Z）组合，具有各种驱动器和行程范围

德国PI L-306紧凑型精密Z工作台：紧凑设计，多轴组合

德国PI L-505紧凑型线性平台：带直流或步进电机

德国PI V-408PIMag®线性平台：便宜，带直线电机

德国PI V-508PIMag®精密线性平台：多种选项可适应需求

德国PI L-402微型线性平台：带直流或步进电机

德国PI A-141 PIglide MB微型线性平台，带空气轴承：，无尘室兼容，可

德国PI V-522•V-524•V-528PIMag线性平台：带直接位置测量的音圈直接驱动

德国PI M-122.2DD1微翻译平台：具有直接位置测量功能的紧凑型线性平台

德国PI M-105微翻译平台：精密交叉滚子导轨，PiezoMike选件，XY（Z）组合

德国PI MTS-65微型线性平台：工业用途的坚固设计

德国PI L-406紧凑型线性平台：对于10公斤的负载

6.德国PI 微型旋转台

带有压电马达的旋转平台使尺寸特别紧凑。

显微镜的许多应用要求自由光通过。这些紧凑的旋转平台还可以用于光学应用中，在这些应用中，它们可以地定位滤光片，并具有的可重复性。

旋转平台可以安装在没有适配器的线性平台上，并且可以灵活组合多轴定位系统。

德国PI 带有Q-Motion和PILine驱动器的微型旋转台

德国PI U-622PILine®旋转平台：超声波压电马达微型载物台 ，具有薄型设计的U-651旋转平台，快速PILine®直接驱动和中央开口

德国PI U-624PILine®旋转平台：超声波压电马达微型载物台

德国PI Q-632 Q Motion®旋转台：紧凑型压电电机：转台直径30 mm，带有步进，直流和无刷直流（BLDC）电机的微型旋转台

德国PI 微型旋转台V-611PIMag®旋转平台：扭矩的扁平设计，大承重2 kg

德国PI RS-40紧凑型旋转台：确定位

德国PI 微型旋转台V-610紧凑型PIMag旋转台：紧凑，适用于M-110的多轴组合

德国PI DT-80紧凑型旋转台：大光圈

德国PI DT-34微型旋转台：尺寸紧凑，带直流或步进电机

7.德国PI 空气轴承和位移台

空气轴承台用于需要无振动运动，速度必须高度恒定且要求角度重复性的场合。

空气轴承避免了摩擦，磨损和间隙效应。PIglide线性，旋转和球面轴承是精密组件，可以集成和电动化用于OEM，工业和研究市场。

型号介绍：

带空气轴承的线性平台

德国PI 空气轴承和位移台A-131 PIglide VC音圈线性平台，带空气轴承：微型纳米定位系统

德国PI 空气轴承和位移台A-110 PIglide LC线性平台，带空气轴承：廉价的纳米定位台

德国PI 空气轴承和位移台A-141 PIglide MB微型线性平台，带空气轴承：，无尘室兼容，可

德国PI  A-123 PIglide AT3线性平台，带空气轴承：性能纳米定位台

德国PI A-121 PIglide AT1线性平台，带空气轴承：性能小尺寸纳米定位台

带空气轴承的XY位移台

德国PI A-351带直线电机的MGS龙门系统：坚固的紧凑型设计，带循环滚珠轴承导轨，可实现负载能力。

德国PI A-341 PIglide HGS混合龙门系统：带有空气轴承和循环球轴承导轨的混合导轨设计，可实现高精度，薄型化。

德国PI A-322 PIglide HS平面扫描仪，带空气轴承：XY定位系统，分辨率为1 nm

德国PI  A-311 PIglide IS平面扫描仪，带空气轴承：，紧凑型XY纳米定位系统

空气轴承旋转台

德国PI A-63x PIglide RL带有空气轴承的平面旋转平台：无摩擦，电动

德国PI A-62x PIglide RM旋转平台，带空气轴承：无摩擦，是分度，定位，扫描，测量技术的选择

德国PI PIglide运动控制器

德国PI A-81x PIglide运动控制器：用于1、2或4个轴

德国PI A-60x PIglide RT旋转空气轴承模块：无摩擦，非电动

德国PI A-10x PIglide RB线性空气轴承模块：无摩擦，非常适合定位，扫描和计量

德国PI A-65x PIglide HB：半球形空气轴承：无摩擦，是三轴旋转运动的选择

PI（Physik Instrumente）位移平台不仅针对线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合开发和生产各种定位平台和执行器。PI还使这些解决方案适应客户的应用，或提供用于运动和定位的成品子系统。

该控件是重要的系统组件，也由PI提供。这不仅提供了复杂的控制概念，还为应用程序环境提供了硬件和软件接口。

PI（Physik Instrumente）位移平台无论是标准产品还是开发产品，无论是OEM驱动器还是集成系统，目标始终是为每种可能的应用提供解决方案。

PI（Physik Instrumente）应用领域：
现在，在许多应用领域中必须达到定位精度。半导体制造，显微镜，表面测量技术，生物技术，医学工程和自动化技术通常需要具有纳米分辨率和可重复性的定位系统。除此之外，还要求响应时间短，真空兼容的设计和在宽温度范围内的功能。

六脚架支持工业机器人
由于在生产和质量流程中对多轴机器人以及精密机器人的需求正在增长，因此行业正在寻找新型的机器人技术。PI为这些任务提供了并联运动六足架。六轴机器人可以在任何空间方向上高精度地移动重量从几公斤到几吨的工具，工件甚至复杂的组件，而与安装方向无关。由于六脚架可以通过现场总线接口直接与PLC或CNC控制器通信，因此用户可以轻松地将定位系统集成到自动化环境中。

德国PI六脚架Physik Instrumente传感器介绍 自20世纪初以来，汽车工业一直在利用并行运动学来测试汽车轮胎。系统供应商今天也使用此技术。它们将六脚架集成到坐标测量机中以校准前照灯，从而满足对精度的要求。六足机器人也可以与工业机器人一起在生产线上使用，以补偿机械臂的误差。