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FPPRB-600LS 进口大型晶圆探针台

型号
FPPRB-600LS
孚光精仪(中国)有限公司

高级会员8年 

经销商

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飞秒激光微加工系统,激光器,激光晶体,原子力显微镜

孚光精仪是进口精密仪器和实验室仪器设备供应商,是*基于激光和成像等光子技术分析测试仪器的规模性进口商和代理商,服务商。
孚光精仪公司以精密光学技术为特色,以光学应用为宗旨,以欧洲,北美和日本进口精密仪器为主业,为中国客户提供*分析测试仪器产品,促进光学技术产品在中国的应用和相关技术水平提升。

21世纪是光学世纪,激光,光谱,光学成像等光学技术极大地促进生物光子学,燃烧和流体力学光学诊断,光谱测试分析等学科发展和技术提升,成为前沿科学和先进制造*的分析,计量,测试和实验工具手段,因此“光学”成为“精密”的代名词,是*精密测试分析的有力实验技术。


孚光精仪公司就是这样一个以光学为特色的进口仪器和实验室设备公司,拥有齐全的进口精密(光学)仪器种类,庞大而可靠的国外生产商群体,和快捷高效的贸易体系,是用户信赖的进口分析测试技术仪器和实验室仪器的旗舰型供服务商。

公司品牌释意


孚:信服/conviction

光:光学/optics

精:精密/

precision
仪:仪器/Instruments

我们信服于光学,致力于光学精密仪器事业。


公司价值
孚光精仪-精通光学,服务科学

经验丰富的激光和光学技术工程师帮助用户出具方案,确认适合应用的精密

光学仪器和科学仪器装置,为用户提供“舒心,省心”的进口体验。
以丰富的进口操作经验和电子商务管理体系,高效沟通国外制造商,为用户提供高效的仪器进口和购置服务!
齐全的光学种类
涵盖了所有光学和激光技术应用领域和相关仪器

荧光光学成像仪器 (包括FRET系统,TIRFM显微镜系统, 钙成像显微镜系统,荧光寿命成像系统,生物发光和荧光发光成像系统等生物光子学仪器)

分子生物学

光学仪器( 包括凝聚成像,生物发光和荧光发光成像系统等)

医用

光学仪器(内窥成像,生物活检成像,辐射成像等)

光谱分析

测试仪器 (激光拉曼光谱仪, FTIR光谱仪,LIBS光谱仪等)

激光粒度仪器 (基于激光和图像技术的粒度和浓度

测试仪器

光学成像仪器 (高速成像,红外热成像,X射线成像)

光谱成像系统 (包括高光谱成像,多光谱成像仪器)

燃烧和流体力学光学诊断技术和仪器 (基于激光和成像技术,融合光谱分析技术组建PIV,PLIF,温度探测,燃烧分析成像等仪器)

无损光学检测仪器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射线成像,热成像,光学内窥等仪器)

AFM, SEM,SPM等特种光学显微镜

通用

实验室仪器和设备(包含所有涉及光学技术的实验仪器)

服务和应用领域

生物光子学

生命科学

医学成像

制药

食品工程

化学和化工

 

实验室仪器实验室建设

流体力学

工程热物理

燃烧诊断分析

发动机研发

航空航天

地球物理科学

地质和石油勘探


半导体和微电子

 

 

 

 

 

先进制造

新能源

材料科学

仪器科学与技术

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客户群体
     
高等院校

*系统研究院所

中国国有企业及其研究院所

外资企业


高效的服务体系
总部位于上海,在上海自贸区和天津自贸区具有仓库,在香港设立贸易公司,拥有遍布全国的代理商,供应商遍布美国、德国、英国、法国、意大利、奥地利、瑞典、捷克、立陶宛、爱沙尼亚等精密仪器优势国家和地区。
公司受益于香港便捷的贸易条件以及上海自贸区和天津自贸区的高效进口程序,为客户提供高效技术仪器进口服务,为制造商提供高效出口服务。

灵活的购买方式
孚光精仪在天津和上海均有进口公司,众邦企业(天津)贸易有限公司和辅光精密仪器(上海)有限公司,具有商检,报关,进出口等高贸易资质,为客户提供优质而专业的进口服务,帮助出口商/制造商完成清关服务,并送货到用户地址。

 

外方经理定期来华办公指导                                             工作园区一角\

公司电子*门办公一角                                                   员工文化墙一角


用户的青睐和信任
我们高效的服务和质优价廉的产品赢得了广大的青睐和信赖,成为声誉*的*产品和服务供应商。国内的科研单位多次从我公司订购各种产品。如:
*上海光机所

*西安光机所

*安徽光机所

*长春光机所

*合肥物质研究院


*物理研究所

*光电研究院


*福建物质结构研究所
中国工程物理研究院
华中光电技术研究所
中国电子集团公司53

清华大学

北京大学

中国科技大学


哈尔滨工业大学
山东大学
武汉大学
南开大学

天津大学


**********

 

 

 

 

详细信息

大型晶圆探针台600LS是专业为300mm晶圆测试设计的大尺寸晶圆测试探针台系统,广泛用于6''晶圆,8''晶圆和12''晶圆探针测试应用。
晶圆夹盘拉出特色
方便而安全的晶圆更换功能
对于12英寸晶圆也可无障碍更换
包含人体工程学把手设计,带有可重复触发的释放/锁止功能
采用重型精密滚珠导向系统
双Z轴气体冲击辅助机械压盘升降系统
显微镜升降延迟可调offset
装卸晶圆过程中,避免探针卡和探针对显微镜物镜造成干扰
进口大型晶圆探针台
压盘制冷
空气制冷,减少探针漂移

集成减震台降低振动影响,带有可调滚轮和操纵杆支架
高分辨率电机驱动:310mm XY位移台驱动具有亚微米分辨率
操纵杆控制
   双速预操作控制XY或Z轴
   可停止操纵杆控制
   快速按下功能方便操作
操纵杆控制
   双速预操作控制XY或Z轴
   可停止操纵杆控制
   快速按下高速按钮功能方便操作,XY或Z转换时,自动提高位移速度.
Theta角度控制30度手动分辨率,可根据用户要求选配电动控制
显示器平台-方便观看,不遮挡观看
模块化设计平台-可根据探针的改变而升级,多种探诊台附件和升级办法供用户选择
探针卡支架-优化设计,适合4.5英寸宽度探针卡

晶圆探针台规格参数600LS
显微镜位移
X-Y操纵杆驱动,50.8mm x 50.8mm(2” x 2”) ,可选升级到203mm x 203mm (8”X 8”)
聚焦 (Z)轴旋钮驱动,50.8mm (2”) 标准配置; 可选配升级到100mm (4”) 带有粗调/微调聚焦旋钮
显微镜升降延迟:可调节,根据压板Z的功能提升显微镜,以防止损坏探针卡和探针
支持的显微镜:QIOPTIQ A-Zoom     Meiji stereo-Zoom   USMCO, Motec&Seiwa显微镜

位移台/晶圆卡盘X-Y-Theta位移
X-Y操纵杆驱动,310mm x 310mm
Theta角旋转:手动控制+/-15度。(可选600-EVS-12SS卡盘,采用300mm不锈钢表面,可选真空环用于4英寸,6英寸,8英寸,12英寸晶圆,平整度+/-12微米。)

晶圆卡盘-装载/卸载
12英寸滑行行程,便于轻松装卸晶圆;符合人体工程学的手柄设计,具有可重复的机械触发释放/锁定功能和重型精密轴承导轨
压板Platen:大面积可容纳10个或更多的机械手,专为高温测试所需的风冷而设计。 磁性不锈钢表面,稳定的四点丝杠驱动。包括两个可定位的真空歧管。

Z轴微调提升和降低-真实平面垂直运动,亚微米精度
Z轴行程:50.8mm (2’’)
Z轴快速提升控制:带有锁定Zup位置的Quickplaten升降机,可快速清理工作区域。升降行程:50.8mm(2”)

Joystick操纵杆
大型便捷操纵杆具有高/低速控制按钮位于顶部,旋转的操纵杆手柄控制压板Z,智能电动驱动控制(顺时针:压板向下,逆时针:压板向上)。位移台X-Y启用-暂停功能将位移台锁止在所需位置。对齐启用-停止功能可以锁止Y轴,以便晶圆可以在X轴上对齐而不会意外移动Y轴。
探针卡支架-适合标准4.5‘’探针卡(其它规格可按用户要求提供)
尺寸重量:38” (96cm) D x 48” (122cm) W x 55” (140cm) H   净重181Kg
外观处理:发黑氧化铝,不锈钢涂粉工艺

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