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起订量：
V1000 等离子清洗机
- 型号
- V1000
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详细信息
雅马拓等离子清洗机V1000产品特点：
■操作性·功能
●射频13.56Mhz0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗仪器，可对应更多复杂工艺.
●标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为accurate。
●液晶触摸屏控制，操作使用简单，调取数据简单。
■安全性·保护
●标准配备真空泄漏检测功能，可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。
●装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
●发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器。
●门锁开关：门在未*关闭时无法启动电源。
●侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源。
●紧急停止按键（EMO）标准配备。
●当装置发生异常时，装置本体发出警告信号的同时，进行以下动作1）关闭主阀。（2）关闭供气阀。（3）停止输出振荡器。(4)停止处理时间。（5）声光报警
■产品优势
●清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●DP&RIE双模处理，可对应更复杂的工艺。
●搭载高精度适配器，高性能RF电源。
●可变电极构造提高等离子处理效果。
●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害。
●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。
●硅晶圆的灰化及蚀刻。
●基板表面污垢处理。
●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。
●半导体相关部品的电子材料的干式清洗。
●自然氧化膜·有机物去除。
●界面活性处理。
●表面污染物去除
雅马拓等离子清洗机V1000产品参数：
型号 | V1000 | |
方式 | DP&RIE双模标准装备 | |
性能 | 发生器功率： | 0-1000W |
发生器频率： | 射频RF13.56Mhz | |
发生器匹配方式： | 自动匹配（Automatching) | |
构成 | 腔体材质： | 铝制腔体 |
腔体内尺寸： | 400×400×384mm约61.4L | |
电极尺寸： | 300mm×300mm | |
反应气体： | 双路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体 | |
填充气体： | 一路氮气 | |
控制方式： | 全自动控制，5.7寸液晶触摸屏 | |
真空度显示： | 测量高真空的电离式真空计标准配备，实时显示腔体内真空度 | |
配管材质： | SUS不锈钢以及特氟龙 | |
门： | 铰链门 | |
涂装颜色： | 标准色，白系 | |
外形尺寸： | W700×D800×H1600mm（高度含警报灯） | |
真空泵： | 无油干式真空泵抽速100m3/hour，吸气口NW40,排气口NW25 | |
电源规格： | 3phaseAC200V50/60Hz8A | |
重量： | 约215kg | |
附属品 | 真空管件一套、真空转接接头一套 | |
