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CT-BW燃烧-水洗
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生产厂家每个模块的废气总流量可达1,500slm
每个反应腔有四个独立的废气进口
高达99.99%的处理效率(DRE)
经客户端测试,在处理沉积和蚀刻制程废气上有良好的处理效率
针对半导体EPI制程,特别设计CT-BW-EPI设备
燃烧反应腔的水幕设计大幅降低了腐蚀及粉尘沉积的问题
每个模块的废气总流量可达1,500slm
每个反应腔有四个独立的废气进口
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经客户端测试,在处理沉积和蚀刻制程废气上有良好的处理效率
针对半导体EPI制程,特别设计CT-BW-EPI设备
燃烧反应腔的水幕设计大幅降低了腐蚀及粉尘沉积的问题