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MFM-50系列高精度经济型质量流量计
青岛芯笙微纳电子科技有限公司，位于青岛市崂山区国际创新园，孵化自山东大学。公司以气体质量流量计/控制器（MFC）、薄膜真空计（Vacuum Gauges）、压力控制器（EPC）等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务，通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段，实现快速发展，助力国家半导体产业的发展。
公司现有发明Z利21项，实用新型12项，计量证书、CE认证、TUV EMC认证、防爆认证等各类证书30余份，从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内仪器仪表企业，全力打造国内研发团队。
公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业，承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构，并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。
公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米，在青岛、深圳、潍坊等地设有制造基地和研发中心，全面保障产品的高质量、快速出货能力，并提供专业的售前售后服务。
详细信息
MFM-50系列高精度经济型质量流量计是一款高性能、紧凑型、 高性价比产品。该产品采用新一代的工业级气体流 量检测芯片，结合高速数字处理电路以及温度补偿算 法，可实现最小0.1sccm、最大800slm流量范围内的 高 精 度 气 体 流 量 检 测 。同 时，该 设 备 可 提 供 有 线（ RS485/4-20mA）和无线（Wifi/4G/蓝牙）多种通讯 方式，并配备专业的用气管理软件，方便客户进行批 量安装和配置，可满足实验室用气计量、漏气报警等 需求，也可以在工业中替代浮子、转子、皮膜等传统机 械式流量计。
产品保修：产品必须在说明书规定的正常工作条件下，严格按照正确的方法安装、使用并维护保养。产品 质量保证期，从发货之日起提供365天免费保修。维修或更换的产品，保修期为 90 天或延续原保修 期（以更长者为准）。 青岛芯笙微纳电子科技有限公司（以下简称青岛芯笙）不对安装、拆卸及替换（但并不仅限于 安装、拆卸及替换）所导致的任何直接及间接损害和损失承担任何责任。为避免不必要的纠纷，用 户应将其有疑问的产品送还公司，公司对问题进行确认后，确定维修或替换。用户承担产品送交青 岛芯笙的费用及可能风险，青岛芯笙承担产品送还客户的费用及可能风险。青岛芯笙的所有销售合 同认定用户自动接受此保修条件及其中青岛芯笙的有限责任。仅青岛芯笙有权更改、修订保修条件 或决定不执行其条款。
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1）产品被改变、改装、处于说明书规定的(或之外的)不正常环境及其它任何可被视为非正常 使用的情况；
2）非本公司原装产品。
