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MFM-50 微小空氮氩氢甲烷氧气气体质量流量计
高级会员第4年
生产厂家
青岛芯笙微纳电子科技有限公司,位于青岛市崂山区国际创新园,孵化自山东大学。公司以气体质量流量计/控制器(MFC)、薄膜真空计(Vacuum Gauges)、压力控制器(EPC)等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务,通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段,实现快速发展,助力国家半导体产业的发展。
公司现有发明Z利21项,实用新型12项,计量证书、CE认证、TUV EMC认证、防爆认证等各类证书30余份,从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内仪器仪表企业,全力打造国内研发团队。
公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业,承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构,并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。
公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米,在青岛、深圳、潍坊等地设有制造基地和研发中心,全面保障产品的高质量、快速出货能力,并提供专业的售前售后服务。
微小空氮氩氢甲烷氧气气体质量流量计MFM-50系列产品特点:
拥有防爆认证;
动态范围大,小流量下精度更高;
自带动态温度和压力补偿,较高的环境适应性;
量程比优于100:1;
连接方式简易,易于安装和使用;
通讯方式灵活,配有数字输出和模拟输出;
搭配工业级液晶显示屏,用于显示瞬时流量和累积流量,并允许用户现场配置流量计参数;
响应速度快,集成度高、体积小巧;
全量程输出稳定性高、精度高、重复性好;
公司专注于 MEMS 流量传感器芯片、流量计、质量流量控制器、数字风速计等气体流量检测芯片和模组的研发和销售,晶圆制造交由国外晶圆厂代工,封装交由母公司制造平台负责,该平台具有9000平米千级无尘封测车间,具有ISO9001, ISO14001, IATF16949等品质管理和制造认证。相关流量计及控制器产品被广泛应用于气体检漏、气体分析仪、实验室、计量院、热氧化炉、扩散炉等领域,