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SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪
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经销商八帆仪器设备(上海)有限公司是创建于2017年,是集测试测量、研发、生产、销售、服务为一体的高科技公司,亚太区总部位于中国上海。并在北京设立办事处。八帆仪器设备(上海)有限公司致力于代理和应用*成熟的测试测量仪器及技术,应用于材料,物理,光学,化学,生物等领域。同时与国内外研发机构合作研究开发高精密测试测量技术及设备定制。有各*机构的技术支持,汇集有行业的精英技术团队,负责产品及方案设计、生产制造、售前售后服务。
SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪广泛应用于光滑与粗糙表面的三维形貌表征。垂直方向的测量精度可以达到纳米级别。 SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪拥有纳米级测试精度,外接PC或笔记本电脑进行实时数据分析。 SmartWLI功能全面,轻松应对各种测试环境。电动XY双轴样品台匹配自动拼接程序,应对大面积测试任务。典型应用包括科学研究、质量控制和工艺管理。
测量系统 | |
量测原理 | 白光干涉 |
Z轴定位系统 | 压电效应调节系统 |
高度量测范围 | 大可达400 μm |
摄像头参数 | CCD摄像头;1624x 1234相素 |
干涉物镜系统 | |
放大倍数MAG 视场范围FOV (mm) 横向分辨率 (um) | 2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 × 4.12 × 3.06 mm2 – 0.103 × 0.076mm2 10.54 μm – 0.55 μm |
光源 | LED |
测试时间 | 通常<20秒 |
软件系统 | |
SmartWLI | 基于微软Win7操作系统,64位表面形貌测量软件;三维数据可通过接口直接传输至MountainsMap分析软件。 |
MountainsMap | 三维数据分析软件,轮廓及三维影像结果输出、测量数据预处理及后处理、德标(DIN)欧标( EN) ISO标准粗糙度及高度测定、串行处理及测试日志。 |
输出文件格式 | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF |