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DS-2000/14G型光刻机

型号
参数
价格区间:面议 仪器种类:微流控芯片系统 应用领域:医疗卫生,环保,电子
安徽智微科技有限公司

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安徽智微科技有限公司是一家专注于微流控领域产品和技术服务的企业,公司拥有多名微流控行业资深销售和技术人员,凭借强大的资源整合能力和技术研发实力,为您提供一站式微流控产、学、研服务。
主营业务包括:

1.微流控芯片:所有材质的微流控芯片的研发、设计、加工、处理、封装。

2.微流控芯片的组件、配件、耗材:光刻胶、PDMS、以及其他耗材。
3.微流控芯片相关设备:微流控芯片加工、微流控芯片封合、微流体驱动、微流体控制、微流控芯片表面处理、温度控制、样品前处理、以及其他设备。
4.微流控芯片实验室组建:微流控芯片实验室的整体解决方案,包括设计、组建以及实验室相关技术输出。

5.微流控芯片量产设备与服务:提供有机材质(PDMS、PMMA等)和无机材质(石英、玻璃等)微流控芯片批量生产设备以及批量代加工服务。

6.微流控系统开发:基于微流控芯片技术的终端应用,可开发细胞、免疫、生化、分子诊断方面设备。

详细信息

产品名称:DS-2000/14G型光刻机
主要技术指标:
单次曝光面积:1.4mm×1mm;
大曝光基片:100mm ×100mm ;
对准精度:±0.8μm(半自动对准);
大胶厚:300μm(SU8胶);
自动逐场对焦;
分辨力:1μm;
X、Y、Z、θ四自由度电动位移台 ;
X、Y平移重复定位精度:0.65μm(3σ);
Z向运动精度:1μm
DS-2000/14G型光刻机技术特点:
该机可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波长的极紫外光作为光源,用DMD数字微镜阵列替代传统掩模板,采用积木 错位蝇眼透镜实现高均匀照明,并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统(可同时使用),拼接获得大面积图形,曝光设定采用微机控制,菜单界面友好,操作简便。


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产品参数

价格区间 面议
仪器种类 微流控芯片系统
应用领域 医疗卫生,环保,电子
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