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MFC流量控制器A
高级会员第4年
生产厂家上海谱栎气体科技有限公司,致力于为各行业提供优质的标准气体、混合气体、特殊气体以及包装容器、分析仪器、仪器耗材、气体应用技术等气体相关产品及服务。
公司由从事气体行业近20年的资深技术人员创建,主要产品包括各类标准气体、环境VOCs标准品、超高纯气体、同位素气体、激光混合气、电光源混合气等气体产品以及各类国产和进口色谱、质谱用分析柱、检测器、进样阀等耗材,具有较强的产品竞争力。我们还为广大客户提供用气咨询、供气设计方案,包括实验室整体用气解决方案、标准气体的配套与使用方案、气体管路的设计与安装、气体使用安全培训等。
我们的气体产品广泛应用于石油化工、电力能源、国防科研、机械制造、太阳能光伏、电子半导体、新型照明、制药和食品等领域。公司以专业运输团队和各种物流途径相结合的灵活方式,为客户提供“门到门”式的便捷无忧服务。同时,结合国内外技术与资源,力争在产品质量与价格上更具优势。公司秉承“顾客至上,诚信专注”的经营理念,坚持“合作双赢”的原则,以集约化、化团队,竭诚为客户提供专业的气体技术服务。
HORIBA质量流量控制器 HORIBA STEC专注于质量流量控制器的研究开发,服务于近乎艺术级的半导体制程,并持续不断地制造各类产品,满足用户的各种需求。
多种配置选择,通信模式可选择数字/模拟,DeviceNet, CC-Link,和PROFIBUS.
两种气体管路接口到接口之间的尺寸规格供选择:124 mm-和106mm- (W系列)
气体流量控制范围扩大到从10 SCCM到200 SLM。SEC-N100系列适用于各种需要气体控制方面的应用。
特点:
高精度 高设定信号点精度
MFC的线性由多条近似曲线进行补偿。这样能确保在所有流量控制范围内的高精度。为了改进针对实际气体的精度,HORIBA STEC使用标准气体测量系统测试各种制程中使用的气体并取得测试数据。
精度:±1.0% S.P. : 30-100% F.S. ±0.3% F.S. : W30%F.S.
全流量范围的高速相应
新的可变PID算法:1秒高速响应。SEC-N100具有新研发的“可变PID系统",能在1秒内对任何信号设定点进行响应。可变 PID根据设定流量点位不断修正计算,这样当用户改变满量程和气体种类时PID参数能得到优化。
多气体,多量程的解决方案
附加的软件可以让用户很容易地改变使用规格
新的多气体,多量程系统使在用户端自由改变气体种类和使用量程范围成为可能。