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晶圆薄膜应力测试仪

型号
参数
产地类别:国产 应用领域:化工
武汉赛斯特精密仪器有限公司

初级会员5年 

生产厂家

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实验室检测仪器,测试仪器设备等
  武汉赛斯特精密仪器有限公司是武汉市专业研发,以力学试验机仪器为主,同时销售各种、中低端分析仪器。现有员工60多人,公司成功开发了PCI放大采集卡和中文版试验软件,并采用全数字化,操作简捷,*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等标准、国家标准、行业标准的要求,公司亦通过了ISO9001质量体系认证和国家计量体系认证,荣获了“武汉市第九界消费者满意单位”的称号。
  产品广泛应用于电子、高校、政府研究机构、环保机构、石油化工、纺织制造、第三方检测机构、*别研究院、新能源、集成电路、芯片、封装测试、半导体行业、显示器领域、光电材料、锂电池、机械生产等领域。并与武汉理工大学、华中科技大学等建立了长期合作,每年投入大量研究经费,招揽各方优秀的技术人才加盟突破国内技术壁垒,不断攻克新的技术难题,另外公司还积极拓展海外业务,产品远销越南,印度,埃及等国家和地区。
  本着“专业品质,专业服务”为宗旨,以“科技、品质、竞争、创新”为理念,通过不断汲取新的技术,新的理念,继续开发研制新产品,并为广大客户提供优质的售前,售中,售后服务。热烈欢迎广大新老朋友业函,来电,莅临我公司参观指导!


 

详细信息

晶圆薄膜应力测试仪

主要特点:

l  快速、非接触式测量;

l  样品台可通用于3至8寸晶圆,128L型号适用于12寸晶圆,128G 型号适用于470 X 370mm样品,另可按要求订做;

l  利双激光自动转换技术:如某一波长激光在样本反射度不足,系统会自动使用另一波长激光进行扫瞄,满足不同材料的应用;

l  全自动平台,可以进行2D及3D扫瞄(可选);

l  可加入更多功能满足研发的需求:电介质厚度测量,光致发光激振光谱分析(III-V族的缺陷研究);

l  500 及 900°C高温型号可选; 

l  样品上有图案亦适用;

l   薄膜应力范围: 1 MPa — 1.4 GPa。

 

晶圆薄膜应力测试仪

室温系统

FSM 128

大样品直径200mm

FSM 128L

大样品直径300mm

FSM 128G

大样品550×650mm

变温系

FSM 500TC

电阻加热工作台:温度可控,高500℃

FSM 900TC-vac

RTP型腔室:温度可控,高900℃(可选1100℃);真空达到 1E-6 Torr

 

武汉赛斯特精密仪器有限公司是武汉市专业研发,以力学试验机仪器为主,同时销售各种、中低端分析仪器。现有员工60多人,公司成功开发了PCI放大采集卡和中文版试验软件,并采用全数字化,操作简捷,*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等标准、国家标准、行业标准的要求,公司亦通过了ISO9001质量体系认证和国家计量体系认证,荣获了“武汉市第九界消费者满意单位”的称号。

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产品参数

产地类别 国产
应用领域 化工
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
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