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桌上型4英寸快速退火炉RTP
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快速退火炉
量伙半导体设备（上海）有限公司成立于2018年，位于上海市浦东新区，公司专注于半导体芯片设备的研发、生产和销售。
目前我司自主研发的快速退火炉RTP设备已具备国内*的技术水平，在研究所、芯片生产企业得到了广泛应用。
详细信息
设备规格:
桌上型小型快速退火炉；
适应于 2英寸-4英寸 晶圆或者*支持 100mmx100mm 样品；
退火温度范围 300℃-1000℃；
升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；
温度均匀性 ≦±1%；
常压腔体（可选配真空腔体）；
冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
MFC控制，1-4路制程气体。
应用领域:
快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
离子注入/接触退火；
金属合金；
热氧化处理；
化合物合金（砷化镓、氮化物等）；
多晶硅退火；
太阳能电池片退火；
高温退火；
高温扩散。
量伙半导体设备（上海）有限公司成立于2018年，位于上海市浦东新区，公司专注于半导体芯片设备的研发、生产和销售。
目前我司自主研发的快速退火炉RTP设备已具备国内*的技术水平，在研究所、芯片生产企业得到了广泛应用。
