三维激光共焦显微拉曼光谱仪是一种高灵敏度和高空间分辨率的拉曼共焦光谱仪系统,它可以进行三维拉曼成像,横向空间分辨率高达200nm，轴向分辨率高达500nm。此外，与扫描探针显微镜SPM相结合可以同时进行拉曼和形貌成像。利用针尖增强拉曼光谱TERS技术，可以获得50nm以下的横向空间分辨率。采用紫外激光激发，非常适合硅器件应力分布。
三维激光共焦显微拉曼光谱仪特点
高灵敏度：4阶Si拉曼测量时间小于1分钟
快速拉曼成像，所需激发激光功率小
空间分辨率高：针尖增强拉曼光谱TERS技术可以获得50nm以下分辨率
     130nm分辨率@364nm, 200nm分辨率@488nm
光谱分辨率高：0.5cm^-1(Echelle光栅技术），0.1cm^-1（Curve Fitting软件算法）
激光扫描显微镜可选：自聚焦功能，自动3个波长激光切换，同时共聚焦拉曼成像和共聚焦激光光学成像
近场针尖增强拉曼光谱TERS显微镜可选：可集成共聚焦拉曼和扫描探针显微镜，空间分辨率达50nm
Deconvolution软件：分辨率提高1.5倍，拉曼共聚焦成像空间分辨率高达100nm,标准分辨率为波长/4.2, 其中波长=488nm, 532nm, 633nm,785nm

“大面积扫描选项”–大样本的快速Mapping映射
・具有毫米、厘米或更大扫描区域的步进电机位移台的拉曼成像。
・通过同步恒速样本移动和数据采集进行快速扫描。
・在点扫描和快速扫描之间轻松切换。
・可与“线扫描”选项组合。
※此扫描选项需要步进电机位移台。
三维激光共焦显微拉曼光谱仪通用规格
空间分辨率指标
波长nm   数值孔径N.A.  XY方向nm   Z方向nm
364           1.4（油浸）  130               330
488           1.4（油浸）  200               500
488           0.9                 250               520
532           0.9                 275               560
633           0.9                 320               660
785           0.9                 390               800
•灵敏度：测量四阶硅拉曼光谱可达1分钟/点（@488nm，5mW激光功率）
•波数范围：50cm^-1～5000cm^-1（取决于激发激光）
•波数分辨率：0.5cm^-1～20cm^-1（@1.5CCD像素）
•控制：电脑自动控制所有光学元件
•隔振：空气弹簧式工作台
显微镜
•正置显微镜/倒置显微镜（可选）
•CCD相机可选
光学元件（可选）
•安装的光学器件：偏振光学器件（激发/检测通道），
自动波长校准，边缘滤波片（可更换为Notch滤波片）
•可选光学元件：紫外线-可见   可见-近红外  近红外
成像光谱仪
•焦距：52cm
•光栅：最多4个（可自动切换）
•光栅选择（G/mm）：150、200、300、600、1200、1800、2400、2800，阶梯形Echelle光栅
•狭缝宽度：0~1.5mm（电动）
•出口数量：2个（可配备两种探测器）
•杂散光去除率：1×10^-5
压电位移台
•行程范围：XY:100μm（可选300μm）Z:100μm（可选300μm）
•定位重复精度：<30 nm，闭环
•负载能力：高达1kg
•电控位移台或压电位移台组合安装可选
扫描振镜扫描仪（可选）
•行程范围：XY:100μm（100x显微镜物镜）250μm（40x显微镜物镜）
探测器
•TE制冷CCD:1024×128像素（26μm/像素）（可选择UV、visible和NIR类型）
•雪崩光电二极管
•光电倍增管
激励激光器（可选）
•325nm, 364nm, 442nm, 458nm, 488nm, 514nm, 532nm, 633nm, 785nm
控制和分析用计算机/软件
•控制系统存储在机架中
•分光计，狭缝，滤光片，偏光镜和其他光学元件的*控制
•激光开关镜（最多3个激光器）
•2D・3D图像旋转，任意位置切片
•拉曼光谱显示
•波数自动校准
•基线校正
•曲线拟合：可选光谱数据库分析软件
其它选项
•加热/冷却：－180℃至600℃（取决于设备）
•高温样品加热台
•时间分辨测量：条纹相机，TCSPC（时间相关单光子计数）
•近场拉曼光谱