- 面议
参考价：
起订量：
FineSAT Ⅴ 超声波影像装置
- 型号
- FineSAT Ⅴ
奥林巴斯显微镜,奥林巴斯工业内窥镜,iX高速摄像机,标乐金相制样设备,威尔逊硬度计,navitar镜头,日立扫描电镜,加拿大WDI光学设备
西努光学创建于2003 年，主营工业显微镜及制样设备、镜片测定设备，高速摄像系统、工业内窥镜、机器视觉等工业及科研应用的检测设备及系统集成。
西努光学秉承“以光学为核心，为客户提供解决方案”的经验思路，经过16年的努力，成为众多企业、高校科研单位提供各种专业化的光学系统解决方案。并于2012 年导入SAP 管理系统，通过系统资源整合，为客户提供更优质、快捷的专业化服务。
2016 年，我们积极引进检测设备的同时导入制样等配套设备以丰富我们实验室平台，以更好的为客户提供现场体验，从微米到纳米满足客户从制样到结果分析的一站式体验服务。
西努光学 诚信为您服务 专业为您服务
垂询专线：400-6807517
微信服务号：cinvoptics/西努光学
更多信息请登录：http://www.cinv.cn
详细信息
测定时间最多缩短25%*2通过超声波高精度、高速检查半导体、电子零部件
提供利用超声波的反射、穿透特性非破坏检测半导体、电子零部件内部的细微结构、缺陷并将其转换为图像的装置——“FineSAT 系列”。
为了应对近年来的需求高度化，强化以往机型“FineSAT Ⅲ”的功能，开发了能进行更高精度、更高速的测定、检查的“FineSAT Ⅴ”。
“FineSAT Ⅴ”将独自开发的数据处理软件、为高速处理大量数据而新采用的64bit处理系统和高速、高精度扫描仪组合在一起，缩短了检查、解析时间。
提供利用超声波的反射、穿透特性非破坏检测半导体、电子零部件内部的细微结构、缺陷并将其转换为图像的装置——“FineSAT 系列”。
为了应对近年来的需求高度化，强化以往机型“FineSAT Ⅲ”的功能，开发了能进行更高精度、更高速的测定、检查的“FineSAT Ⅴ”。
“FineSAT Ⅴ”将独自开发的数据处理软件、为高速处理大量数据而新采用的64bit处理系统和高速、高精度扫描仪组合在一起，缩短了检查、解析时间。
采用提高了解析能力的64bit处理系统
标准配置可最多保存、处理4亿点超声波测定的数据，选购配置*1时，可最多保存、处理20亿点超声波测定的数据。 这样，以往使用FineSAT Ⅲ时，对8英寸的晶圆进行1次测定并转换成图像时的最小测定间距为40 µm，而现在使用FineSAT Ⅴ，标准配置能以20 µm的微小间距取得数据并转换为图像，选购配置时，能以10 µm以下的微小间距取得数据并转换为图像，所以1次扫描就可完成大样品的详细测定。 另外，还可进行支持高精度解析、评价的多种图像显示。
标准配置可最多保存、处理4亿点超声波测定的数据，选购配置*1时，可最多保存、处理20亿点超声波测定的数据。 这样，以往使用FineSAT Ⅲ时，对8英寸的晶圆进行1次测定并转换成图像时的最小测定间距为40 µm，而现在使用FineSAT Ⅴ，标准配置能以20 µm的微小间距取得数据并转换为图像，选购配置时，能以10 µm以下的微小间距取得数据并转换为图像，所以1次扫描就可完成大样品的详细测定。 另外，还可进行支持高精度解析、评价的多种图像显示。
扫描仪的最大扫描速度提高到2,000mm/s，缩短了检查时间
测定晶圆等大样品时，扫描仪的扫描速度对测定时间的影响很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速扫描仪，还将超声波脉冲的发生周期降低到1/2，这样，测定时间缩短了25%*2。 除了加减速时，扫描仪的最大扫描速度提高到2,000mm/s*3，通过新设计的高刚性框架抑制装置的振动，所以高速扫描也能获得鲜明的图像。
测定晶圆等大样品时，扫描仪的扫描速度对测定时间的影响很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速扫描仪，还将超声波脉冲的发生周期降低到1/2，这样，测定时间缩短了25%*2。 除了加减速时，扫描仪的最大扫描速度提高到2,000mm/s*3，通过新设计的高刚性框架抑制装置的振动，所以高速扫描也能获得鲜明的图像。
考虑了设置场所、作业性的装备
考虑在洁净室内的使用的情况，扫描仪的门采用上弹方式，同时，作为门的选购件，还准备了防静电型透明板，提高了防尘性。
为了设置样品、维护设备时可顺畅拆装台面、框架，前面的下部窗口可向下180°全开。
本体操作部位采用防静电板，抑制操作员静电的影响。
本体电源ON就可进行升降机的升降操作。不用启动FineSAT软件就可动作。
标准装备便携控制器。 以往，移动扫描仪内的探头时，要用鼠标或键盘操作显示器画面内的按钮，来回移动视线，查看、操作探头和监视器或键盘。 如果使用便携控制器，不用离开视线，就可对探头位置进行微调整。
配备23英寸显示器，大幅提高数据解析等的视认性、作业性。
可选择双显示器。
*1GUIPC为选购件的情况。
考虑在洁净室内的使用的情况，扫描仪的门采用上弹方式，同时，作为门的选购件，还准备了防静电型透明板，提高了防尘性。
为了设置样品、维护设备时可顺畅拆装台面、框架，前面的下部窗口可向下180°全开。
本体操作部位采用防静电板，抑制操作员静电的影响。
本体电源ON就可进行升降机的升降操作。不用启动FineSAT软件就可动作。
标准装备便携控制器。 以往，移动扫描仪内的探头时，要用鼠标或键盘操作显示器画面内的按钮，来回移动视线，查看、操作探头和监视器或键盘。 如果使用便携控制器，不用离开视线，就可对探头位置进行微调整。
配备23英寸显示器，大幅提高数据解析等的视认性、作业性。
可选择双显示器。
*1GUIPC为选购件的情况。
*2与本公司以往机型相比，因条件而有所不同。
*3因测定条件不同，最大扫描速度可能受到限制。
采用的64bit处理系统，大幅强化解析功能。
■ 高分辨率波形显示
能将超声波的测定时间单位设定为以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 不断细微化、多层化的电子装置的薄层内的缺陷、层间剥离的检测、深度位置信息的精度提高。
能将超声波的测定时间单位设定为以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 不断细微化、多层化的电子装置的薄层内的缺陷、层间剥离的检测、深度位置信息的精度提高。
■ 多焦点
通过扫描时连续改变焦点位置的功能，1次测定就可获得对焦不同的多个深度的图像，所以能防止漏看缺陷。
通过扫描时连续改变焦点位置的功能，1次测定就可获得对焦不同的多个深度的图像，所以能防止漏看缺陷。
■ 多闸门缩略图显示
对于通过多闸门测定的多个不同信息的图像，可生成缩略图，转换为容易选择的一览显示。缩略图图像可单独变更调色板。
对于通过多闸门测定的多个不同信息的图像，可生成缩略图，转换为容易选择的一览显示。缩略图图像可单独变更调色板。
■ 覆盖物显示(反射图像/透射图像重叠)
可重叠显示通过反射法/透射法同时测定取得的2个图像。另外，对于显示的图像，可调整透明度，所以可设定为容易判断的图像。
■ 作为选购件，准备了图像锐化、体积图像、孔隙浏览器等软件
可与图像锐化软件（对超声波信号劣化进行补正，使图像更加鲜明）、体积图像软件（在测定后将收集的波形数据解析为测定图像和波形）、孔隙浏览器软件（显示孔隙(缺陷)后进行合格与否判定、统计处理）等高度的解析软件组合。
■ 追随扫描功能
这种扫描方式可适于与不平整的弯曲晶圆、扭曲的被检体。
扫描时可追随被检体的表面。
可重叠显示通过反射法/透射法同时测定取得的2个图像。另外，对于显示的图像，可调整透明度，所以可设定为容易判断的图像。
■ 作为选购件，准备了图像锐化、体积图像、孔隙浏览器等软件
可与图像锐化软件（对超声波信号劣化进行补正，使图像更加鲜明）、体积图像软件（在测定后将收集的波形数据解析为测定图像和波形）、孔隙浏览器软件（显示孔隙(缺陷)后进行合格与否判定、统计处理）等高度的解析软件组合。
■ 追随扫描功能
这种扫描方式可适于与不平整的弯曲晶圆、扭曲的被检体。
扫描时可追随被检体的表面。
规格：
| FSP8Ⅴ | FSP12Ⅴ | |
| 探头频率（MHz） | 5～200 | 5～300 |
| 最高频率（MHz） | 500 | |
| 有效行程（X×Y×Z） （mm） | 350×350×80 | |
| 最大扫描速度（mm/s） | 2,000 | |
| 最多测定点数（点） | 标准：4亿 GUIPC选购件时：20亿 | |
| 外形尺寸（W×H×D） （mm） | 1,590×1,300×940（门关闭状态） | |
| 质量（kg） | 約470 | |
| 电源（电压/电流/频率） | AC100V/15A/ 50/60Hz | |
