快速检漏辅助系统一

通过外加大抽速真空泵，达到对抽空工件快速抽空的目的。适用于体积相对较大的工件的检漏。

外接抽空系统由氦质谱检漏仪控制，无需额外的操作。提高效率2-4倍。

适用于：电子封装，电力绝缘套管，真空波纹管，热交换器，真空阀门等体积相对较大，需要快速检漏的产品。
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

快速检漏辅助系统一

通过外加大抽速真空泵，达到对抽空工件快速抽空的目的。适用于体积相对较大的工件的检漏。

外接抽空系统由氦质谱检漏仪控制，无需额外的操作。提高效率2-4倍。

适用于：电子封装，电力绝缘套管，真空波纹管，热交换器，真空阀门等体积相对较大，需要快速检漏的产品。
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。