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Park NX20 原子力显微镜

型号
Park NX20
参数
产地类别:进口 应用领域:电子
上海西努光学科技有限公司

高级会员8年 

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原子力显微镜

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西努光学创建于2003 年,主营工业显微镜及制样设备、镜片测定设备,高速摄像系统、工业内窥镜、机器视觉等工业及科研应用的检测设备及系统集成。
西努光学秉承“以光学为核心,为客户提供解决方案”的经验思路,经过16年的努力,成为众多企业、高校科研单位提供各种专业化的光学系统解决方案。并于2012 年导入SAP 管理系统,通过系统资源整合,为客户提供更优质、快捷的专业化服务。
2016 年,我们积极引进检测设备的同时导入制样等配套设备以丰富我们实验室平台,以更好的为客户提供现场体验,从微米到纳米满足客户从制样到结果分析的一站式体验服务。

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微信服务号:cinvoptics/西努光学

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详细信息

用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20,这款精密的大型样品原子力显微镜,凭借着出色的数据准确性,在半导体和超平样品行业中大受赞扬。

*大全面的分析功能
Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因,并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。优秀的精密度为您带来高分辨率数据,让您能够更加专注于工作。与此同时,真正非接触扫描模式让探针尖头更锋利、更耐用,无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。。

即便是第一次接触原子显微镜的工程师也易于操作
ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面,让你在使用时无需花费大量的时间和精力,也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点,您可以更加专注于解决更为重大的问题,并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。

样品侧壁三维结构测量
NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面,并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所具备的。

 

对样品和基片进行表面光洁度测量
表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一,能够带来精确的失效分析和质量保证。

 

 

高分辨率电子扫描模式
QuickStep SCM
最快的扫描式电容显微镜
PinPoint AFM
无摩擦导电原子力显微镜

多种技术帮助顾客减少测试时间

· CrN样品所做的针尖磨损实验

通过对比重复扫描情况下探针尖头的形状变化,您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。

 

· 最佳AFM测量

借助真正非接触模式,探针尖头在扫描氮化铬样品(即探针检测样品)200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强,会让普通的探针很快变钝。

低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌
没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌
超低噪声Z探测器,噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像,没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。
· 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量
· 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm
· 没有前沿或后沿过冲现象
· 终身无需校准,减少设备维护成本

Park NX20技术参数 

XY扫描器

闭环控制XY平板扫描器
扫描范围 : 100μm x 100μm
               50μm x 50μm
20位位置控制和24位位置传感器

 

运动位移平台

XY行程范围 : 150 mm (200 mm选配)
Z行程范围 : 25 mm
对焦行程范围: 8 mm
 

Z扫描器

导向强力Z扫描器
扫描范围 : 15 µm
               30 µm
20位位置控制和24位位置传感器

 

样品基座

样品最大尺寸:150 mm (200 mm选配)
真空样品吸附

 

视场

光学物镜

10× (0.21 NA) 超长工作距离镜头的物镜
20× (0.42 NA)高分辨率,长工作距离镜头的物镜
同轴光源设计
10倍光学物镜和数码放大
光学物镜视场 : 840 × 630 µm (420 × 315 µm选配)
CCD : 5M pixel

 

软件

SmartScan™

Dedicated system control and data acquisition software
Adjusting feedback parameters in real time
Script-level control through external programs(optional)

XEI

AFM data analysis software

 

Electronics

Signal processing

ADC : 18 channels
4 high-speed ADC channels
24-bit ADCs for X, Y, and Z scanner position sensor
DAC : 17通道
2 high-speed DAC channels
20-bit DAC的X, Y和Z扫描器定位
最大数据量 : 4096 x 4096像素

Integrated functions

3 channels of flexible digital lock-in amplifier
Digital Q control

外部信号访问

20 embedded signal input/output ports
5个TTL

输出 : EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias

 

AFM模式
(*Optionally available)

成像模式

真正非接触模式
PinPoint™ AFM
接触模式
侧向摩擦力显微术 (LFM)
相位成像
轻敲模式

电学特性*

扫描电容显微镜 (SCM)
导电原子力显微镜
静电力显微镜 (EFM)
压电力显微镜 (PFM)
扫描开尔文探针显微镜(SKPM)

一般特性*

磁力显微镜(MFM)
扫描热感显微镜(SThM)
力.距离曲线
扫描隧道显微镜(STM)
力调制显微镜(FMM)
纳米压痕
纳米刻蚀
纳米操纵

 

 

 

 

 

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