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F3-sX 板厚测量系统
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日本filmetrics板厚测量系统F3-sX
可以高精度测量硅基板和玻璃基板的厚度。
通过安装最初开发的具有高波长分辨率的光谱仪,可以测量高达 3 mm 的厚膜。
凭借 10 μm 的小光斑直径,可以测量粗糙和不均匀的薄膜。
通过添加自动载物台,可以轻松测量面内分布。
日本filmetrics板厚测量系统F3-sX
半导体 | 硅基板、LT基板、Ti基板等的厚度测量 |
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平板显示器 | 测量玻璃基板厚度和气隙 |
模型 | F3-s980 | F3-s1310 | F3-s1550 |
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测量波长范围 | 960 – 1000nm | 1280 – 1340nm | 1520 – 1580nm |
膜厚测量范围 | 4 微米 – 350 微米 | 7 微米 – 1 毫米 | 10 微米 – 1.3 毫米 |
膜厚测量范围 (玻璃基板) | 10 微米 – 1 毫米 | 15 微米 – 2 毫米 | 25 微米 – 3 毫米 |
准确性 | ± 0.4% 薄膜厚度 | ||
测量光斑直径 | 10微米 |
*取决于样品和测量条件