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日立高新S-3400N可变压力扫描电子显微镜
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详细信息
Hitachi S-3400N
一、日立扫描电子显微镜S-3400N型的特点
1. S-3400N具有强大的自动功能，包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. S-3400N II型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品zui高可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系统使用涡轮分子泵，洁净、高效。
二、日立扫描电子显微镜S-3400N型的技术指标
日立高新S-3400N可变压力扫描电子显微镜
项目 | 描述 | |
SE分辨率 | 3.0nm (30kV)，高真空模式 | |
BSE分辨率 | 4.0nm (30kV)，低真空模式 | |
放大倍率 | x5 ~ x300,000 | |
加速电压 | 0.3 ~ 30 kV | |
低真空范围 | 6 ~ 270 Pa | |
zui大样品尺寸 | 直径200mm | |
样品台 | I型 | II型 |
X | 0 ~ 80mm | 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm | 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm | 5 ~ 65mm |
R | 360º | 360º |
T | -20º~ +90º | -20º ~ +90º |
zui大样品高度 | 35mm (WD=10mm) | 80mm (WD=10mm) |
驱动类型 | 手动 | 五轴马达驱动 |
灯丝 | 预对中钨灯丝 | |
物镜光栏 | 可移动式4孔物镜光栏 | |
枪偏压 | 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏 | |
检测器 | 二次电子检测器 | |
分析位置 | WD=10mm, TOA=35o | |
控制 | 鼠标、键盘，手动旋钮 | |
自动调校 | 自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度 | |
日立高新S-3400N可变压力扫描电子显微镜
